產(chǎn)品介紹：
    卷對(duì)卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）嚼摩，并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中矿瘦，如碳纖維制備枕面、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長(zhǎng)学蛤。
   設(shè)備含卷對(duì)卷收放卷運(yùn)動(dòng)模塊贮祥、1200℃雙溫區(qū)可開(kāi)啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊夭菲、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分程昨，整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速?gòu)?~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)摇轨，可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差咖亏，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	卷對(duì)卷PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-T1200-JCY
1200℃雙溫區(qū)管式爐	供電電壓	AC220V，50Hz
	*大功率	3KW
	加熱溫區(qū)	雙溫區(qū) 200mm+200mm
	工作溫度	≤1200℃
	控溫精度	±1℃
	控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線翠坟，可存儲(chǔ)多條
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管尺寸	φ80mm I.D x 1400mm L
	密封方式	不銹鋼真空法蘭
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	工作氣體	氫氣已唐、氮?dú)狻鍤庑严痢⒀鯕獾确歉g性氣體
	真空泵	雙極旋片式真空泵
	極限真空度	10^-1Pa
三路質(zhì)量流量計(jì)	閥門(mén)類型	不銹鋼針閥
	氣路數(shù)量	三路
	承壓范圍	0.05~0.3MPa
	量程	1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4)
	流量控制范圍	±1.5%
	混氣罐容積	750mL
	氣路材料	304不銹鋼
	管道接口	6.35mm卡套接頭
	供電電源	AC220V 50Hz
S射頻電源	輸出功率	500W
	輸出精度	±1%
	射頻頻率	13.56MHz
	射頻穩(wěn)定度	±0.005%
	冷卻方式	風(fēng)冷

 

 

 

 1绞芽、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障君板，均予以免費(fèi)維修歪架。保修期滿后股冗，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)和蚪。
 2止状、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案攒霹，確保設(shè)備正常運(yùn)行导俘。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)剔蹋。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試辅髓、整機(jī)維護(hù)泣崩、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5洛口、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)矫付，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)第焰、保修手冊(cè)洞歼、有關(guān)資料及配件回乞、隨機(jī)工具等）悦阿。
 6派男、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證铣揉。