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產(chǎn)品介紹：
該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)夹姥、襯底控溫系統(tǒng)杉武、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2辙售、SiNx薄膜的沉積轻抱，同時可實現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料旦部，尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積祈搜。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-PE
外殼	不銹鋼
內(nèi)襯	兩層氧化鋁纖維
加熱元件	電阻絲
電源供應(yīng)	AC 208-240V，單相士八，50/60 Hz
溫度	1200°C (2 hour)
工作溫度	1100 °C
溫度均勻	±1°C
加熱和冷卻速率	≤15 °C/S
爐管尺寸	Φ200×1400mm
管材	優(yōu)質(zhì)石英管
加熱區(qū)大小	Φ250×300mm
恒定溫度容燕，區(qū)域長度	180mm
密封	法蘭
功率	8KW
溫度控制	30 個可編程段，用于精確控制加熱速率婚度、冷卻速率和停留時間蘸秘。內(nèi)置 PID 自動調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護蝗茁。過溫保護和警報允許在沒有服務(wù)人員的情況下進行操作僚洋。 +/- 1 ºC 溫度精度。
準確	±1°C
總重量	100Kg

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障克矿，均予以免費維修初茶。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的弥禀，我公司將盡快做出處理方案匣诉，確保設(shè)備正常運行。
3骏芍、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓曾瞪。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試既憔、整機維護掰儿、技術(shù)講解及操作指導等)。
5抚官、本公司可提供運輸服務(wù)扬跋，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊凌节、保修手冊钦听、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）倍奢。
6朴上、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。