型號(hào)		KJ-T1200 PECVD
部分：標(biāo)準(zhǔn)件
等離子射頻電源	輸出功率	5 -500W可調(diào)隶丁，均勻性 ± 1%
	RF頻率	13.56 MHz ±0.005%
	反射功率	200W
	射頻輸出端口	50 Ω，N型
	噪音	<50 dB.
	冷卻	空氣冷卻
管式爐部分	顯示	LED
	形式	分體式和上部可打開(kāi)
	連續(xù)工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	建議：0~10℃/min（20℃/min）
	溫區(qū)長(zhǎng)度	500mm
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	K型
	溫度均勻性	±1℃
	爐管尺寸	200m外徑 X 長(zhǎng)度1600mm
		材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動(dòng)控制
	加熱曲線	30步可編程
	法蘭	不銹鋼帶閥真空法蘭
	電壓	380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵	旋片真空泵 流量：4L/S 旋片式真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪的推車呕童。
質(zhì)量流量計(jì)	三款精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥淆珊，手動(dòng)控制3種氣體混合
數(shù)字真空計(jì)	皮拉尼數(shù)字真空計(jì)

 1夺饲、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障施符，均予以免費(fèi)維修往声。保修期滿后，仍提供終身的戳吝、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)浩销。
 2贯涎、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案慢洋，確保設(shè)備正常運(yùn)行塘雳。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)普筹。
 4败明、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)沉沾、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)讼狗。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)革辖，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行硝闸。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)查袄、有關(guān)資料及配件硼挡、隨機(jī)工具等）。
 6见丘、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證酒危。