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鄭州科佳電爐有限公司

當(dāng)前位置:鄭州科佳電爐有限公司>>化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)>>低真空CVD系統(tǒng)>> KJ-T1200-W2雙爐體CVD設(shè)備

雙爐體CVD設(shè)備

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-W2

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2024-07-14 11:06:33瀏覽次數(shù):140次

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產(chǎn)品介紹:該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款,適用于CVD工藝资汛,如碳化硅鍍膜帐捺、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)呼雨、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)
產(chǎn)品介紹:
    該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款赫捕,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜飘拂、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)壶碴、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)显艘。

產(chǎn)品特點(diǎn):
1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)炭庙,該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小煌寇,溫度不過(guò)沖,性能可靠阀溶,操作簡(jiǎn)單腻脏。
2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性银锻。
3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能击纬,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)鼎姐,耐沖擊分子泵
 防止意外漏氣造成分子泵損壞更振,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命炕桨。

參數(shù)詳情:
 
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-W2
管式爐部分
爐體結(jié)構(gòu) 雙層殼體結(jié)構(gòu),配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)45℃
爐膛材質(zhì) 真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛献宫,材料保溫性能好、反射率高缆月、溫場(chǎng)均衡
溫度 1200℃
使用溫度 ≤1100℃
升溫速度 推薦≤10℃/min拭愁,升溫速度20℃/min
爐管材料 石英管
爐管尺寸  OD:50mm*ID:44mm* 長(zhǎng)1400mm
管子中間部位開(kāi)15mm,有個(gè)堵塞可堵上
加熱區(qū)長(zhǎng)度 200mm+200mm(雙爐體)
爐膛開(kāi)口 每個(gè)爐膛對(duì)應(yīng)開(kāi)寬10mm*長(zhǎng)80mm的孔践涧,并可封堵
法蘭 不銹鋼密封法蘭侣娄,拆卸方便山乐,法蘭上裝有精密針閥
溫控系統(tǒng) 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)览雁、自整定功能,并可編制30段升降溫程序胜通;
1歧坚、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置30段升降溫程序
2宅溃、控溫精度±1ºC 
3沛药、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)
4甚负、儀表具有溫度自整定的功能
加熱元件 合金電阻絲
測(cè)溫元件 2支K型熱電偶分別獨(dú)立控溫
工作電源 AC220V柬焕,50Hz
額定功率 4KW
進(jìn)出氣口 法蘭上含有進(jìn)出氣口和精密針閥
氣路系統(tǒng)部分
質(zhì)量流量計(jì) 二路精密質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制梭域。
MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm
MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm
氣路:2路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制斑举。
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。
標(biāo)準(zhǔn)配置 主機(jī)1臺(tái)病涨,流量計(jì)1套富玷、密封法蘭1對(duì),石英管1支既穆,密封圈4個(gè)赎懦,爐堵2個(gè),坩堝鉤1把幻工,高溫手套1副励两、拆卸扳手2把、說(shuō)明書(shū)1份囊颅、合格證保修卡1份

 

 

 

 

 

 1当悔、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障狞吏,均予以免費(fèi)維修曲苛。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的仁沃、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2谨敏、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的赡析,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行考皂。
 3奇搪、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試住龙、整機(jī)維護(hù)肯绅、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5监征、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)芽接,包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)括眠、保修手冊(cè)彪标、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)掷豺。
 6捞烟、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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