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產(chǎn)品介紹：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)附柜、雙溫區(qū)缓膀、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa僚料，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)详依，混氣路數(shù)可以是2路、3路毡飒、4路球毙、5路相混合。

KJ-T1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件痪寻，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表哼转，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)槽华、可控硅控制壹蔓，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料趟妥，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低佣蓉、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)披摄。

應(yīng)用范圍：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料勇凭，包括大范圍的絕緣材料疚膊，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等虾标，如碳化硅鍍膜寓盗、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)璧函、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)傀蚌。是高校、科研院所甲施、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)互聪、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)重我、真空退火用的理想產(chǎn)品突棉。

規(guī)格參數(shù)：

高溫爐殼體	采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)狼谋，使得殼體表面溫度小于55℃绒怯，內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率	2.5 KW
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長(zhǎng)使用壽命）
工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
升溫速率	<= 20 ℃
爐管材質(zhì)和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度	三溫區(qū)：200+200+200 mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度	350 (+/-1 ℃)
控溫系統(tǒng)	PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng)	兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥）坑搀，漏氣率6 mtorr/min
真空泵	采用雙旋機(jī)械泵坠屹，機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙神卢，減少泵油的損耗兵扭，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米袒碍。
數(shù)字式真空顯示計(jì)	數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上
混氣系統(tǒng)	三個(gè)質(zhì)量流量計(jì) 三路質(zhì)量量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐
售后服務(wù)	質(zhì)保一年脾鸠，終身保修

可選配件：

質(zhì)量混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)舆床、K型熱電偶1支棋蚌、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套挨队、不銹鋼爐鉤1谷暮、爐塞1對(duì)、高溫手套1副、說(shuō)明書(shū)1份

1湿弦、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外）瓤漏，在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修颊埃。保修期滿后蔬充，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)班利。
2饥漫、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案罗标，確保設(shè)備正常運(yùn)行拍斜。
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6公悟、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。