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浙江藍(lán)箭儀器有限公司
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更新時間：2023-11-24 14:14:32瀏覽次數(shù)：248次
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日本電子JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)沼改，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下热芹，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升却紧。此外桐臊，保證300nA的束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析晓殊，具有充實(shí)的自動功能和易用性断凶，是新一代的多功能場發(fā)射掃描電鏡。
＜特點(diǎn)＞
JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)巫俺；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）认烁；電磁場疊加的混合式物鏡。
浸沒式肖特基電子槍
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍為日本電子的技術(shù)盘胯，通過對電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化删广，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑刚驶。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析（EDS剩知、WDS面分析、EBSD分析等）牙吼。
TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）
TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號選擇的系統(tǒng)瞭剧。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速柱称、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用盘挠，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。
此外遗挚，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓倾皿，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下勃犬，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子惩阶。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD扣汪，選配件）檢測出來断楷，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。
混合式物鏡（電磁場疊加）
JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡崭别。
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡冬筒，比傳統(tǒng)的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率茅主。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性舞痰，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。
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