中圖儀器NS系列納米級臺階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器犹蝇，其主要用于臺階高、膜層厚度囤嗡、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量昵斤。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率缤滑，同時困邪，其集成了超低噪聲信號采集勃谎、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)业馒，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性慷境。

NS系列納米級臺階測厚儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，能夠測量樣品的粗糙度和波紋度愧理，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線雕蔽，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS宾娜、Rv批狐、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù)前塔。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度嚣艇，可以準確測量蝕刻、濺射华弓、SIMS食零、沉積、旋涂寂屏、CMP等工藝期間沉積或去除的材料贰谣。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線迁霎，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra吱抚、RMS、Rv考廉、Rp狱林、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力涛帐。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度衙到，即可開始測量。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后梯匠，根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置贱避，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量誓胆。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置竣楼，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建庸飘。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢炼杉。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機瞒帜，在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑假棉，在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針征绸，當需要執(zhí)行換針操作時久橙，可現(xiàn)場快速更換掃描測針，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定管怠，確保換針后的精度和重復性淆衷，減少維護煩惱。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

應用領域

應用場景適應性強渤弛，其對被測樣品的反射率特性祝拯、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應用于半導體她肯、太陽能光伏佳头、光學加工、LED晴氨、MEMS器件康嘉、微納材料制備等各行業(yè)領域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征籽前，對于相關(guān)材料的評定亭珍、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。典型應用：

臺階儀測試薄膜厚度

臺階儀具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢枝哄。如針對測量ITO導電薄膜的應用場景稿服，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標志位骂妻；

2）對于批量樣件锭泼，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量篡氯；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能焦凶，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）