中圖儀器NS系列微納樣品臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器侦萍，其主要用于臺階高咸壮、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量均壳。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC漆究，具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時拔翠，其集成了超低噪聲信號采集钉榔、超精細運動控制、標定算法等核心技術翅窥，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性圣钝。

產品特性

1.出色的重復性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC）没惶，具有亞埃級分辨率肖喂，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差庆杜，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征射众。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調

測力恒定可調，以適應硬質或軟質材料表面晃财。超低慣量設計和微小電磁力控制叨橱，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌断盛，杜絕運動中的細微抖動罗洗，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌郑临。

4.頂視光學導航系統(tǒng)栖博，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺， Z軸自動升降厢洞、360°全自動θ轉臺

6.強大的數(shù)據采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持典奉。

產品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度躺翻，可以準確測量蝕刻、濺射卫玖、SIMS真葱、沉積、旋涂辐胆、CMP等工藝期間沉積或去除的材料讨砍。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線卸研，可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra佩讨、RMS哥甲、Rv、Rp把毒、Rz等數(shù)十項參數(shù)裹耗。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據影像導航圖設置掃描起點和掃描長度徽捶，即可開始測量痘宋。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后，根據影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置淡箱，可根據橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構成的多區(qū)域測量模式塌瑞，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置蛔六，并可根據所需掃描的區(qū)域寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置神汹，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析古今，針對批量樣品的測量數(shù)據提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據的變化趨勢屁魏。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機，在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑捉腥，在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡氓拼。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針，當需要執(zhí)行換針操作時抵碟，可現(xiàn)場快速更換掃描測針桃漾，并根據軟件中的標定模塊進行快速標定，確保換針后的精度和重復性拟逮，減少維護煩惱撬统。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

NS系列微納樣品臺階測量儀在測量膜厚方面，它利用光學干涉原理敦迄，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度恋追，具有測量精度高、測量速度快奖岛、適用范圍廣等優(yōu)點恕孙。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬淑储、陶瓷帘缤、塑料等。如針對測量ITO導電薄膜的應用場景俏堆，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結合了360°旋轉臺的全電動載物臺憋屑，能夠快速定位到測量標志位；

2）對于批量樣件篡呆，提供自定義多區(qū)域測量功能汽后，實現(xiàn)一鍵多點位測量面旋；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢解瀑；

NS系列臺階儀應用場景適應性強盾轮，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求蛛蒙，能夠廣泛應用于半導體糙箍、太陽能光伏、光學加工牵祟、LED深夯、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位诺苹，其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征咕晋，對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義收奔。

典型應用

部分技術參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）