中圖儀器SuperViewW鍍膜粗糙度光學(xué)輪廓測量儀基于白光干涉原理饼瓮，以3D非接觸方式碗帅，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它結(jié)合精密Z向掃描模塊豹爹、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像裆悄，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D臂聋、3D參數(shù)光稼，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度逻住，平面度钟哥，平行度，臺(tái)階高度瞎访，錐角等等）腻贰；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑扒秸，特征區(qū)域的面積和體積播演，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙伴奥、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量写烤；

2)單區(qū)域自動(dòng)測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時(shí)，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索颂睛、掃描等功能培车；

3)多區(qū)域自動(dòng)測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點(diǎn)位，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索车咕、掃描等功能割钧；

4)自動(dòng)拼接測量；支持方形、圓形衔侯、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能蝉嘲，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域迈枪，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量痛的；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟违酣，結(jié)合自動(dòng)單測量功能梆栏，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整受啥、去噪歉摧、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能腔呜；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析再悼、結(jié)構(gòu)分析核畴、頻率分析、功能分析等五大分析功能冲九。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板谤草，針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word莺奸、excel丑孩、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，支持圖像灭贷、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出温学；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像甚疟；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿仗岖，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)俗股、急停等欲堪；

12)環(huán)境噪聲評價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價(jià)功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率馁言，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)涯蜜；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲群骂，確保測量數(shù)據(jù)的高精度烙锉；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源俱猪，防止光源高亮過熱損壞距档，并有效延長光源使用壽命氧液；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù)囱悴，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位沧仿，不再下移且伴有報(bào)警聲；設(shè)備配備壓力傳感器甫题，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)馁筐，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)坠非，大幅減小碰撞沖擊力敏沉，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)炎码。

SuperViewW鍍膜粗糙度光學(xué)輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測盟迟、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工潦闲、微納材料及制造攒菠、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天歉闰、科研院所等領(lǐng)域中辖众。可測各類從超光滑到粗糙和敬、低反射率到高反射率的物體表面凹炸，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度肚乓、微觀幾何輪廓运诺、曲率等。它具有測量精度高肄慨、操作便捷既倾、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)寨铸，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短队屋，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式妖啸，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量卵手。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度高坚、波紋度诫列、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況剂东、腐蝕情況迂卢、孔隙間隙、臺(tái)階高度桐汤、彎曲變形情況而克、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

部分技術(shù)指標(biāo)

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