SuperViewW1中圖3d光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理寿针，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。是結(jié)合精密Z向掃描模塊镰钦、3D 建模算法等径卜，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

中圖3d光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)泛驰、3C電子玻璃屏及其精密配件域曼、光學(xué)加工、微納材料及制造寺帽、汽車零部件俱篡、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中凸协〔梗可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面淑际，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度畏纲、平整度、微觀幾何輪廓春缕、曲率等盗胀，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)锄贼。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品票灰、部件和材料表面的平面度、粗糙度宅荤、波紋度屑迂、面形輪廓、表面缺陷冯键、磨損情況惹盼、腐蝕情況、孔隙間隙惫确、臺(tái)階高度诅鹰、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析流沦。

應(yīng)用范例：

性能特點(diǎn)

1庐穴、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)蝇硅，保證測(cè)量精度高榛蜻；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)翁漠，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲盅力，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測(cè)量重復(fù)性舆焕；

2按任、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

具備的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾，在設(shè)備調(diào)試棍详、日常監(jiān)測(cè)杠滓、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3冒萄、精密操縱手柄

集成X臊岸、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄尊流，可快速完成載物臺(tái)平移帅戒、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作崖技。

4逻住、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器迎献，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)瞎访，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器吁恍，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)扒秸。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)践盼，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作鸦采。

中圖光學(xué)輪廓儀具有測(cè)量精度高宾巍、操作便捷因摸、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)叭蜂，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短侦滩，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式唬研，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量假祝。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知虎内，不便之處敬請(qǐng)諒解燕汗。

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