中圖儀器亞埃級(jí)垂直分辨力臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x，其采用LVDC電容傳感器耙钉，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)囊像。它利用光學(xué)干涉原理，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度卡竣，具有測(cè)量精度高禾门、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)蝴韭。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度够颠，包括金屬、陶瓷榄鉴、塑料等履磨。

針對(duì)測(cè)量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場(chǎng)景，中圖儀器臺(tái)階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái)庆尘，能夠快速定位到測(cè)量標(biāo)志位剃诅；

2）對(duì)于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測(cè)量功能驶忌，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測(cè)量矛辕；

3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀分析測(cè)量數(shù)值變化趨勢(shì)付魔；

產(chǎn)品應(yīng)用

中圖儀器亞埃級(jí)垂直分辨力臺(tái)階儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)聊品，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體翻屈、太陽(yáng)能光伏陈哑、光學(xué)加工、LED奋肄、MEMS器件轿南、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征量伏，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定兴氧、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度畴贵，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻厦冤、濺射、SIMS幅秉、沉積奔豫、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料渠跷；

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度袄洁，分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra收罢、RMS晤泌、Rv、Rp耕姊、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)桶唐；

3）翹曲與形狀：能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中茉兰，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化尤泽，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測(cè)量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式规脸；

2）導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖坯约、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式莫鸭。

3）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析闹丐，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī)被因，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示妇智，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺(tái)氏身、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸，可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)爱亡，提高測(cè)量精度及效率穴你。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級(jí)位移傳感器

具有亞埃級(jí)分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾泊铸，確保儀器具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性乓收；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面者侄，采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制愧棋，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測(cè)量；

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌亮哑，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)罗和，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)指標(biāo)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要援奢，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知忍捡，不便之處敬請(qǐng)諒解集漾。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢砸脊。