中圖儀器NS系列臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度玄柏、表面形貌襟衰、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。臺(tái)階儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性粪摘、材料種類瀑晒、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣徘意，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高苔悦、測(cè)量穩(wěn)定、便捷椎咧、高效玖详，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度勤讽，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻蟋座、濺射、SIMS、沉積向臀、旋涂巢墅、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度隆文，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線美卒，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS韧践、Rv轿战、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)随象；

3）翹曲與形狀：能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲载蜓，如在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化蘑弊，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑履岂。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測(cè)量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來(lái)設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式；

2）導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖掘缭、標(biāo)定數(shù)據(jù)函强、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式。

3）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析觅冈，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)反璃。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

中圖儀器國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀測(cè)試薄膜厚度配備了500W像素的彩色相機(jī)，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示假夺，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量淮蜈。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

中圖儀器國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀測(cè)試薄膜厚度配備配備了精密XY位移臺(tái)、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸已卷，可對(duì)樣品的XYZ梧田、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高測(cè)量精度及效率侧蘸。

典型應(yīng)用

NS系列臺(tái)階儀采用LVDC電容傳感器裁眯，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。針對(duì)測(cè)量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場(chǎng)景讳癌，NS200臺(tái)階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái)穿稳，能夠快速定位到測(cè)量標(biāo)志位；

2）對(duì)于批量樣件晌坤，提供自定義多區(qū)域測(cè)量功能逢艘，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測(cè)量；

3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能骤菠，直觀分析測(cè)量數(shù)值變化趨勢(shì)它改；

部分技術(shù)指標(biāo)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改体咽，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解隧鸠。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息飒迅，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。