中圖儀器SuperViewW1三維自動光學檢測輪廓儀以白光干涉技術為原理衫荒，可測各類從超光滑到粗糙盲陨、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度液啃、平整度恳岔、微觀幾何輪廓、曲率等锚渺，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D谋粱、3D參數作為評價標準。它以3D非接觸方式歪缅，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸计鹦，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度谎秃，平面度，平行度灶鹦，臺階高度弱瞄，錐角等等）；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸把曼，曲率半徑杨帽，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）嗤军。

產品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高注盈、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦叙赚、自動找條紋老客、自動調亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量震叮、定位自動多區(qū)域測量功能胧砰；

(4)分析中提供校平、圖像修描苇瓣、去噪和濾波尉间、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析击罪、幾何輪廓分析乌妒、結構分析、頻率分析朋蚜、功能分析等五大分析功能日频；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

對各種產品茧滞、部件和材料表面的平面度浮块、粗糙度、波紋度狠劳、面形輪廓勉瘩、表面缺陷、磨損情況品隅、腐蝕情況杀坟、孔隙間隙、臺階高度燃徊、彎曲變形情況源玉、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

SuperViewW1三維自動光學檢測輪廓儀具有測量精度高厚累、功能全面炼吴、操作便捷本鸣、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內硅蹦，確保了高款率檢測荣德。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量童芹。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外涮瞻，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓假褪，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量署咽，應變測量以及表面形貌測量。

部分技術指標

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢倚衡。