中圖儀器NS200臺階儀國產(chǎn)品牌是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度棋电、表面形貌茎截、表面波紋和表面粗糙度等的測量。廣泛應(yīng)用于：大學(xué)赶盔、研究實驗室和研究所企锌、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED于未、太陽能其神、MEMS微機電、觸摸屏币沫、汽車垄窃、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度番雀，可以準(zhǔn)確測量蝕刻吐莲、濺射、SIMS阶押、沉積陪瘟、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料脱刷；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度阐逗，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra饮码、RMS韵谋、Rv、Rp氏篇、Rz等20余項參數(shù)振诬；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中衍菱，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化赶么，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式梦碗；

2）導(dǎo)航圖智能測量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)蓖救、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式洪规。

3）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機斩例，可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示雄人，進(jìn)行即時的高精度定位測量。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺念赶、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸础钠，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)叉谜，提高測量精度及效率拓酵。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景，其采用LVDC電容傳感器缆乐，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺乱树，能夠快速定位到測量標(biāo)志位；

2）對于批量樣件禽糊，提供自定義多區(qū)域測量功能吆揖，實現(xiàn)一鍵多點位測量；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能阔萧，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢绳瓣；

中圖儀器NS200臺階儀國產(chǎn)品牌對測量工件的表面反光特性、材料種類男梆、材料硬度都沒有特別要求嗡深，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高拔较、測量穩(wěn)定起衫、便捷、高效槽畔，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段栈妆。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息臼隔，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢沉填。