SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸昧识，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度钠四，平面度，平行度跪楞，臺階高度缀去，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸甸祭，曲率半徑缕碎，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）淋叶；

SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測阎曹、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工煞檩、微納材料及制造处嫌、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天斟湃、科研院所等領(lǐng)域中熏迹。可測各類從超光滑到粗糙凝赛、低反射率到高反射率的物體表面挫勿，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度庭授、微觀幾何輪廓琴哗、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D粉只、3D參數(shù)作為評價標準吟叙。

性能特色

1、高精度暇鸦、高重復性

1）采用光學干涉技術(shù)揍丘、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高牺胎；

2）隔振系統(tǒng)楞庸，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲暂一，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用晾胡，獲得高測量重復性；

2拐云、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾蔓姚，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐坡脐。

3泄私、精密操縱手柄

集成X、Y备闲、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄晌端，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦恬砂、找條紋等測量前工作咧纠。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外泻骤，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器漆羔，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)狱掂，保護儀器演痒，降低人為操作風險。

5陈伪、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機深牲，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品泛倦、部件和材料表面的平面度辽松、粗糙度、波紋度习环、面形輪廓裸努、表面缺陷、磨損情況芍规、腐蝕情況绎弯、孔隙間隙、臺階高度这毁、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析赌列。

應用范例：

部分技術(shù)指標

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