W1光學3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理墓老，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外坚矢，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓辽蚀，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量翁纵，應變測量以及表面形貌測量∮韭洌可測各類從超光滑到粗糙沐恨、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度婚被、平整度狡忙、微觀幾何輪廓、曲率等址芯，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D灾茁、3D參數(shù)作為評價標準。

應用領域

W1光學3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品谷炸、部件和材料表面的平面度北专、粗糙度、波紋度旬陡、面形輪廓拓颓、表面缺陷、磨損情況描孟、腐蝕情況驶睦、孔隙間隙、臺階高度画拾、彎曲變形情況啥繁、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

結(jié)果組成：

1摊矮、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度睬漩，表面結(jié)構(gòu)影偶，缺陷分析，晶粒分析等漫诬；

2确羹、二維圖像分析：距離届审，半徑，斜坡癣偶，格子圖噪旭，輪廓線等；

3恃楔、表界面測量：透明表面形貌垢蔑，薄膜厚度，透明薄膜下的表面涡写；

4菩擦、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5搅窿、劃痕形貌嘁酿，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量男应；

6闹司、微電子表面分析和MEMS表征。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高沐飘、角度等輪廓尺寸測量功能游桩；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋薪铜、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能众弓；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能隔箍；

(4)分析中提供校平谓娃、圖像修描、去噪和濾波蜒滩、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能滨达；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析绍掂、結(jié)構(gòu)分析恃打、頻率分析、功能分析等五大分析功能识俄；

性能特色

1市缠、高精度、高重復性

1）采用光學干涉技術纫蝗、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)羔辉，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)仇韩，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動睁衰，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲用牲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性蝴趾；

2勋酿、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調(diào)試愿味、日常監(jiān)測博个、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3际乘、精密操縱手柄

集成X坡倔、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄脖含，可快速完成載物臺平移罪塔、Z向聚焦、找條紋等測量前工作养葵。

4征堪、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器关拒，當鏡頭觸碰到樣品表面時佃蚜，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，保護儀器着绊，降低人為操作風險谐算。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機归露，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作佳抗。

部分技術指標

如有疑問或需要更多詳細信息贰筹，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢少炎。