中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理甲盘，具有測量精度高、操作便捷核看、功能齊全躯法、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)券豺，確保了高款率檢測滚蚪。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量读黑。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測蛉幸、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工丛晦、微納材料及制造奕纫、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天烫沙、科研院所等領(lǐng)域中匹层。可測各類從超光滑到粗糙锌蓄、低反射率到高反射率的物體表面升筏，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度瘸爽、微觀幾何輪廓您访、曲率等。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高剪决、角度等輪廓尺寸測量功能灵汪；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋柑潦、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能姆赔；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平温辉、圖像修描技窝、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能亡铺；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析橱柒、結(jié)構(gòu)分析厕猴、頻率分析、功能分析等五大分析功能主靡；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能盲外。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu)否艺，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候棺蛾，都可以根據(jù)不同表面特點進(jìn)行重建算法的切換。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外盒苛，具有的測量晶圓翹曲度功能怜俐，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量邓尤，應(yīng)變測量以及表面形貌測量拍鲤。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性汞扎。既可以用于科學(xué)研究季稳，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

結(jié)果組成：

1澈魄、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度景鼠，波紋度，表面結(jié)構(gòu)痹扇，缺陷分析铛漓，晶粒分析等；

2帘营、二維圖像分析：距離票渠，半徑，斜坡芬迄，格子圖裙闪，輪廓線等；

3瘤贷、表界面測量：透明表面形貌俯够，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4峰适、薄膜和厚膜的臺階高度測量抗钻；

5、劃痕形貌靶姻，摩擦磨損深度褒述、寬度和體積定量測量；

6怀拨、微電子表面分析和MEMS表征逃窜。