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產(chǎn)品介紹：

KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成市协，溫度可以達(dá)到1200度昭仓，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計瞬芒，可以對多種氣體進(jìn)行精確的混氣凯辆，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭接吠，真空度用分子泵可以到10-5Torr宜裂，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌缕圣，可用手動滑動掀哎。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得加熱旺坠，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度乔遮，然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻取刃，可在樣品加熱后移動爐子到另一端蹋肮。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子璧疗。

應(yīng)用范圍：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法坯辩，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料崩侠，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料漆魔、二維材料等，如碳化硅鍍膜却音、陶瓷基片導(dǎo)電率測試改抡、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。是高校雀摘、科研院所宜柱、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原编喊、CVD實驗拣薄、真空退火用的理想產(chǎn)品。

規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	四路高溫真空CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S60K-4C
工作溫度	1100°C
溫度	1200°C
加熱速率	建議：0- 10°C/min {：0-20℃/min}
加熱區(qū)	三溫區(qū)
加熱區(qū)長度	200+350+200mm
控溫精度	±1°C
爐管直徑	OD60mm
爐管長度	大約1200mm-1400mm
真空法蘭	兩個不銹鋼密封法蘭潭均，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計校搀，和閥門通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr，泄漏率6 mtorr/min
溫控	智能PID多段程序控溫
加熱曲線	30段可編程
功率	4KW
電壓	220V号找，50HZ房幌，單相
質(zhì)子流量計	4路精密質(zhì)子流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制泥碳。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路:4路流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套一個混氣罐膜护。每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量泰牵。

標(biāo)準(zhǔn)配件：

質(zhì)子混氣系統(tǒng)1臺锭测、雙旋機(jī)械泵1臺、K型熱電偶1支芥吟、氣煉石英爐管1根侦铜、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1钟鸵、剛玉爐塞2對钉稍、高溫手套1副、剛玉坩堝2個棺耍、氫氣檢漏器1個贡未、說明書1份

注：坩堝可按用戶需求選配合適的款型

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外）蒙袍，在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障俊卤，均予以免費維修。保修期滿后左敌，仍提供終身的瘾蛋、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)俐镐。
2矫限、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案佩抹，確保設(shè)備正常運行叼风。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)飒晴。
4威众、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試财偶、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)哼股。
5课枉、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行荧肴。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊杆赃、保修手冊、有關(guān)資料及配件恃定、隨機(jī)工具等）宣忧。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證寞殿。