雷尼紹超精密測量光柵 超高精度 超小型　　

VIONiC光柵系列是雷尼紹性能高的增量式光柵，它可提供直接的數(shù)字位置反饋候妻，具有優(yōu)異的測量性能锨耍，運行速度快且可靠性好执摆。VIONiC讀數(shù)頭集成雷尼紹經(jīng)過市場檢驗的可靠光學濾波系統(tǒng)和細分技術。它具有超低的電子細分誤差(SDE)平俩、優(yōu)異的抗污能力缅叔，而且無需額外使用適配器或單獨的接口。

此外狞绰，VIONiC讀數(shù)頭可兼容各種直線柵尺完株、圓弧柵尺和圓光柵，從低膨脹ZeroMet™柵尺到高精度REXM圓環(huán)光柵峦夺，無一例外颁殃。VIONiC系列光柵因此成為具有多功能性和優(yōu)異測量性能的理想光柵。

VIONiC光柵采用雷尼紹第三代光學濾波系統(tǒng)拄屈，可對多個光柵周期進行平均显钙，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去斋值，以在探測器上留下一個正弦波形绑雄。這里使用的是一個多條紋結構，它非常細奥邮，能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流万牺。這些結合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦信號輸出洽腺，同時保持500 kHz以上的帶寬脚粟。

包括自動增益控制、自動平衡控制和自動偏置控制在內(nèi)的集成高級動態(tài)信號調(diào)節(jié)組合在一起蘸朋，確保實現(xiàn)超低電子細分誤差 (SDE)(通常 < ±15 nm)核无。

光學濾波系統(tǒng)的這一改進加上精選的優(yōu)質電子器件，大帶寬增量信號可達到12 m/s的速度藕坯，同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)最小的团南。讀數(shù)頭內(nèi)置細分功能，同時利用其他抗噪電子器件進一步增強高分辨率型VIONiC的抗噪功能炼彪，從而實現(xiàn)抖動水平僅有1.6 nm RMS吐根。

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