SuperViewW1白光干涉三維表面測(cè)量系統(tǒng)以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸萨驶。它集成X歉摧、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄腔呜，可快速完成載物臺(tái)平移叁温、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作核畴。

SuperViewW1白光干涉三維表面測(cè)量系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)膝但、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工谤草、微納材料及制造跟束、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天咖刃、科研院所等領(lǐng)域中泳炉『斗ぃ可測(cè)各類從超光滑到粗糙嚎杨、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度氧腰、平整度枫浙、微觀幾何輪廓、曲率等三钦。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1尼缨、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭疫谱，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2综货、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)嚣惭，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲。

3螃势、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì)罕擒，有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導(dǎo)。

4距档、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕氧液，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度囱悴。

5沧仿、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，集成了XYZ三軸位移和速度甫题、光源亮度的自動(dòng)控制馁筐，并配有緊急停止按鈕。

6幔睬、真空吸附臺(tái)

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺(tái)眯漩，確保樣品在測(cè)量過(guò)程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像。

7麻顶、3D重建算法

自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)赦抖，在硬件系統(tǒng)的配合下，測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別辅肾。

產(chǎn)品功能

1)樣件測(cè)量能力：?jiǎn)我粧呙枘Ｊ郊纯蓾M足從超光滑到粗糙队萤、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測(cè)量；

2)單區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：?jiǎn)纹矫鏄悠坊蚺繕悠非袚Q測(cè)量點(diǎn)位時(shí)矫钓，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索要尔、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測(cè)量點(diǎn)位新娜，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索赵辕、掃描等功能；

4)自動(dòng)拼接測(cè)量娶停；支持方形膘掀、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能肄慨，配合影像導(dǎo)航功能既倾，可自定義測(cè)量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無(wú)縫拼接測(cè)量寨铸；

5)編程測(cè)量功能：支持測(cè)量和分析同界面操作的軟件模塊队屋，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟拱屈，結(jié)合自動(dòng)單測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量卵手；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整鸦贩、去噪、濾波诫列、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能盆战；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析绎彪、結(jié)構(gòu)分析诈火、頻率分析、功能分析等五大分析功能状答。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板冷守，針對(duì)同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word惊科、excel拍摇、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊疯蓄，可保存掃描過(guò)程中的干涉條紋圖像盾轮；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿图瘾，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；

12)環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能幕随，定量檢測(cè)出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)宿接；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座赘淮，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的高精度醇盏；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能腔族，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞秘乍，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命羽折；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù)比端，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位墅波，不再下移且伴有報(bào)警聲簇像；設(shè)備配備壓力傳感器侵念，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)帚棚，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)捎虚，大幅減小碰撞沖擊力兆性，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)泳柴。

自研3D顯微測(cè)量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開(kāi)發(fā)的第二代顯微3D測(cè)量軟件平臺(tái)赋荆，集成了圖像掃描、3D分析懊昨、影像測(cè)量窄潭、自動(dòng)化測(cè)量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列酵颁、VT系列嫉你、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類躏惋，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式幽污。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測(cè)領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測(cè)量功能簿姨，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)距误、線間的距離、角度扁位、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測(cè)量和自動(dòng)匹配測(cè)量准潭。

自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測(cè)量與分析域仇，可組合式完成粗糙度怀程、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測(cè)量。

自動(dòng)拼接功能

支持方形钝菲、圓形遣备、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能，配合影像導(dǎo)航功能术偿，可自定義測(cè)量區(qū)域休贴，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無(wú)縫拼接測(cè)量。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對(duì)各種產(chǎn)品弓慨、部件和材料表面的粗糙度钥陪、波紋度、面形輪廓淤写、表面缺陷螟扮、磨損情況、腐蝕情況示宫、孔隙間隙骏挎、臺(tái)階高度汗忠、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析兜叨。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢涂身。