SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工治勒、微納材料及制造恰磷、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天路倔、科研院所等領(lǐng)域中熏屎，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量〈常可以測量可測各類從超光滑到粗糙京嗽、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度卓奄、平整度墨叛、微觀幾何輪廓、曲率等模蜡，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D漠趁、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。也叫光學(xué)3D表面輪廓測量儀忍疾。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高闯传、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對(duì)焦卤妒、自動(dòng)找條紋甥绿、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量荚孵、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能妹窖；

4）分析中提供校平、圖像修描收叶、去噪和濾波骄呼、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析判没、幾何輪廓分析蜓萄、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析钳生、功能分析等五大分析功能秤慌；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成：

1孕称、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度式涝，波紋度，表面結(jié)構(gòu)酝遇，缺陷分析图汪，晶粒分析等杏蟋；

2、二維圖像分析：距離讳汇，半徑震崎，斜坡，格子圖枪第，輪廓線等汉锡；

3、表界面測量：透明表面形貌兜蠕，薄膜厚度扰肌，透明薄膜下的表面；

4熊杨、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量狡耻；

5、劃痕形貌猴凹，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量岭皂；

6郊霎、微電子表面分析和MEMS表征。

超精密加工

大尺寸樣品拼接測量

針對(duì)芯片封裝測試流程的測量需求爷绘，SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm书劝，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸土至、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測量购对。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓陶因，定制版真空吸附盤协包，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì)忠牛，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾幔憋。

白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下克鼠，測量精度和重復(fù)性高于共聚焦顯微鏡全乙。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀滚尼，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求侄伟。