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SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)

zonglen公司峡黍，針對(duì)目前市場(chǎng)上進(jìn)口冰水機(jī)chiller維修費(fèi)用昂貴慎接，服務(wù)周期長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家魚(yú)龍混雜居串，設(shè)備質(zhì)量差药妄，服務(wù)不到位等現(xiàn)象，zonglen公司愿做您可靠的后盾撰拯，為您排憂解難刀昼。

SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)

半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器讼撒、循環(huán)泵胰挑、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備椿肩。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制豺谈，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性郑象、控制精度和響應(yīng)速度。

SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置茬末，CMP（工藝機(jī)械拋光）厂榛， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器丽惭、醫(yī)美設(shè)備击奶、固態(tài)激光器、模具溫控等责掏。

變頻控制柜砾，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域

激光加工换衬、印刷設(shè)備芬莫、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備歪眨、高分析儀众被、LCD制造設(shè)備简些、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備唤抚、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作篱撩，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)说庶、液面降低缓鞠、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小