半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller 

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制旷祸，具有溫度穩(wěn)定性高耕拷、溫度范圍廣、故障診斷托享、外部通信等豐富功能的裝置骚烧。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設(shè)備采用變頻控溫方式闰围，提高能效止潘，減少能耗。-20℃下目標(biāo)制冷量可以達(dá)到3600W辫诅，滿足用戶制冷需求凭戴。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達(dá)到±0.1℃炕矮，使用范圍廣逆酣，設(shè)定溫度：-20℃~80℃。

半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller 

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置堡它，CMP (工藝機(jī)械拋光)殖锹，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器衍醒、醫(yī)美設(shè)備席磕、固態(tài)激光器、模具溫控等父驮。

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作照窥，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低羹李、停電復(fù)位股航、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫猖驹、提高生產(chǎn)效率翠节、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

可用選項(xiàng)

省空間积仗、省配線疆拘、省配管、省工時(shí)寂曹、雙變頻型更節(jié)能入问。

可對(duì)應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時(shí)）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液稀颁、60%乙二醇水溶液芬失、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式