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鄭州煒盛電子科技有限公司
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更新時間：2023-02-14 08:13:03瀏覽次數(shù)：388次
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DGS03自動配氣系統(tǒng)
自動配氣系統(tǒng)主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制，配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣體。標準氣體配氣的方法包括稱重法京多、分壓法、靜態(tài)容量法符站、流量比混合法卖寻、滲透法毛咸、擴散法弯沥、體積比法等朗溶。該自動配氣系統(tǒng)采用流量比混合法蜘矢，是一種動態(tài)配氣法，通過嚴格控制一定比例的組份氣體莽每，并加以混合而制定標準氣體毛彼。與瓶裝標準氣相比舒疚，使用該方法能夠在同一配氣系統(tǒng)上，可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣衫凭，配制的目標組分標準氣體濃度可達10-9級且連續(xù)可調(diào)兜畸；可稀釋范圍寬，可以達到1/2000碘梢；系統(tǒng)不受環(huán)境溫度與壓力變化影 , 可以適用于配制高咬摇、低濃度的多種目標組分標準氣體，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體煞躬，具有很好的應(yīng)用價值肛鹏；采用氣體質(zhì)量流量計控制每一路所需的原料氣體的流量，可以控制配制目標組分標準氣體的總流量恩沛，實現(xiàn)連續(xù)配制并供給目標組分標準氣體在扰，使用方便、靈敏度高雷客、精度高芒珠。
適用于配制高、低濃度的多種目標組分標準氣體搅裙，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體妓局，具有很好的應(yīng)用價值
| 流量規(guī)格（N2） | （0~5，10呈宇，20好爬，30侥嫂，50，100蒸撕，200莽入，300，500）SCCM （0~1跑放，2押棋，3，5慈肯，10范益，20，30）SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM |
| 0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM | |
| 溫度系數(shù) | 零點：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時:≤±0.1FS/℃ |
| 耐壓 | 3MPa ≤2sec |
| 漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠; 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (5~45) ℃ |
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