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詳細(xì)摘要： ffu掛鉤式風(fēng)機濾網(wǎng)機組（FFU）風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)過HEPA過濾，過濾后的空氣在整個出風(fēng)面以0.45 m/s ± 2%的風(fēng)速均勻送出晶会。F...