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電子及半導體制造業(yè)者對靜電釋放與微粒污染損害所需付出的費用相當驚人衣屏,從統(tǒng)計資料中知悉,每年因靜電釋放(Electrostatic Discharge, ESD)所釀成之損壞成本負擔估計高達9億美元辩棒,有些專家認為實際上的損失還會更高狼忱。因此對于環(huán)境控制室(無塵室)的要求與品質(zhì)與日俱僧。
由于無塵室內(nèi)的空氣通常須保持在相對濕度45%的干燥狀態(tài)一睁,因此容易產(chǎn)生靜電钻弄;靜電在半導體制程上誘發(fā)不良的作用主要有兩大類佃却,一為引發(fā)微粒污染,在各種無塵室的微粒污染源中占第五位窘俺,約5%饲帅,另一為靜電釋放(ESD),其所引發(fā)的失效率瘤泪,在產(chǎn)品早期各種失效發(fā)生源中占*灶泵,超過50%;為了克服靜電釋放的問題对途,許多制造商已著手研究各種靜電控制計畫赦邻,內(nèi)容包括制程機儀及人體所產(chǎn)生的靜電危害。
無塵室用靜電釋放防護衣著必須具有:(1)靜電/靜電逸散锉寿、(2)微塵粒子產(chǎn)生機會低(低發(fā)塵量)轻樟、(3)織造強度夠、(4)耐用性好泣虚、(5)抗特定化學藥劑及(6)穿著性舒適等特性馏旅。
目前抗靜電無塵衣大都由人造長纖維織造。這些織物可以是針織抽堵、梭織或紡黏合方式織造构眶。聚酯長纖是目前無塵室織物zui主要之原料。為了使織物賦予持久性抗靜電/靜電逸散的效果起忠,一般是于織造過程中嵌入(大概占織物重之0.1-0.5%)導電紗希金。這些導電紗通常在成品布上顯現(xiàn)條或格子狀樣式(3-10mm,視zui終用途而定)聋芹。
目前市面上有很多種抗靜電纖維可供選擇爵林,這些纖維的織造通常是在纖維制造過程中加入些許導電物質(zhì),分別由以下兩種生產(chǎn)方式而得:
1.有機高分子纖維(主要是聚醯胺或聚酯)
×ぬ椤(a) 熔融紡絲時加入導電物質(zhì)添加物 (例如碳黑)臣环。
(b) 熔融紡絲后以導電物質(zhì)當作纖維后處理求泰。
2.無機纖維(例如不銹鋼纖維):導電性纖維需經(jīng)過紡紗后再織成布央渣,纖維導電性之優(yōu)劣必須視導電物質(zhì)之種類、添加量和位置來加以調(diào)整渴频,碳纖維是zui常用之導電材料芽丹,硫化銅、碘化銅和其它氧化金屬也常使用卜朗。導電物質(zhì)可以使用類似涂布加工的方式覆蓋于纖維外層拔第,或使用復合紡絲使纖維內(nèi)部含導電材料,亦或一部份分布在表面一部份在纖維內(nèi)部形成兩種介質(zhì)场钉,導電材料通常添加量在3%~30%之間蚊俺。
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