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由于氣浮導軌具有高精度词宴、低阻尼令怎、低摩擦、無污染等優(yōu)點蹈垢；同時慷吊，直線電機具有無接觸、速度快曹抬、精度高溉瓶、噪聲低等特點，在運動系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運動谤民，避免了滾珠絲杠堰酿、螺母等中間傳動機構，實現(xiàn)了直接驅(qū)動张足。因此触创，直線電機和氣浮導軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點为牍，適合應用于精密運動平臺的 設計之中哼绑。但由于直線電機驅(qū)動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，運動過程中精度較差碉咆，易產(chǎn)生超調(diào)和振蕩抖韩，限制了直線進給精度浇沧，難以滿足超精密加工的要求。因此董记，為解決直線電機及直線氣浮運動平臺 系統(tǒng)存在的問題铆贞，本文研究了磁流變阻尼直線電機驅(qū)動的高速精密氣浮平臺技術赐赁。 研究對象主要由氣浮導軌模塊檀塌、直線電機驅(qū)動模塊和磁流變阻尼器模塊三大部分組成。具體研究內(nèi)容主要包括：

1雕踊、基于Ansys有限元分析軟件平臺前河，采用有限元方法對氣浮導軌的特性進行分析，研究氣浮導軌在不同承載工況下空氣軸承的動反力及氣膜靜剛度的非 線性變化挺候，并建立流固耦合模態(tài)有限元分析方法對氣浮平臺的固有振動特性進行 研究框嫁。

2、運用有限元分析方法對自主開發(fā)的雙邊永磁直流直線電機的磁場分布與力 學特性進行分析即钞。以此為基礎形炬，分別采用mat lab和mat lab-Adams機電聯(lián)合分析方法研究這種直線電機的運動特性。

3部爱、為了研究適用于直線電機驅(qū)動的氣浮平臺的阻尼器亏吝，本文對比分析了閉式 磁流變阻尼器與開式電流變阻尼器的特點，設計出一種新型結(jié)構的開式磁流變阻 尼器盏混，運用有限元方法分析其磁場分布蔚鸥，并對其關鍵尺寸進行優(yōu)化設計；對其阻尼特性與響應特性進行了實驗研究许赃。

4止喷、為了研究氣浮平臺的整體性能及其各關鍵零部件之間的相互影響，本文采用電磁-固耦合分析方法對具有磁流變阻尼的直線電機驅(qū)動的氣浮平臺進行整體建模和靜力學特性研究混聊。