最新日韩精品第1页视频,青青青青青青在线精品视频,向日葵官网视频在线观看下载,首页日韩中文字幕视频

高精度和高分辨率的氣浮運動平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。它直接影響精密、超精密切削加工水平怪褐、精密測量水平及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平溜勃。它的各項技術(shù)指標是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力蝠欲。同時工作臺的速度廉丽、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標妻味。

由于氣浮運動平臺的定位精度和分辨率多在亞微米級正压，工作環(huán)境的影響不容忽視。溫度的變化直接影響平臺的定位精度责球，外部振動會影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性焦履，環(huán)境溫度與濕度的變化會影響傳感器的精度。因此精密及超精密氣浮平臺的工作環(huán)境要求高雏逾，對溫度及濕度的變化一般控制到20 ± 0.1℃和濕度50%±5%以內(nèi)嘉裤，更高精度的平臺則要求控制到溫度變化20 ± 0.1℃以內(nèi)。而恒溫車間的建造價格高校套，為達到極小的溫度變化价脾，多采用多級恒溫車間嵌套的措施，更加增加了建設(shè)成本笛匙，同時空調(diào)等設(shè)備的運行費用也不可忽視侨把。

這些因素使得精密及超精密氣浮運動平臺在正常的工業(yè)環(huán)境中應(yīng)用受到了很大的制約。因此有必要提出一種新的設(shè)計觀念妹孙，從一開始就綜合考慮車間工作環(huán)境 建造成本秋柄、運行費用、使用要求肢姜、工作臺技術(shù)指標主渤、制造成本等技術(shù)經(jīng)濟因素， 通過新材料和新的控制技術(shù)在精密及超精密氣浮平臺中的應(yīng)用驰闺，降低氣浮平臺對使用環(huán)境的要求和整個生命周期的研制使用費用瘪叉，提高精密及超精密氣浮平臺的綜合性能。這對精密及超精密平臺的推廣應(yīng)用呕豪，提高我國的制造業(yè)水平有著重要的意義药扒。