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KSZY-S12擴(kuò)散爐恒溫槽5大特點(diǎn)如下：

◆采用高精度動(dòng)態(tài)恒溫控制技術(shù)和SMT裝配技術(shù)羞酗，*恒溫波動(dòng)度達(dá)±0.05℃腐宋，專門為半導(dǎo)體擴(kuò)散爐配套。
◆ 提供單個(gè)源瓶檀轨、兩個(gè)源瓶胸竞、和四個(gè)源瓶的結(jié)構(gòu)形式，適合不同的應(yīng)用需求裤园。
◆ 將源瓶與水介質(zhì)*隔離的鐵氟龍隔離套撤师，將任何泄漏事故引起的危險(xiǎn)降低到zui低程度。
◆ 采用全封閉磁力泵循環(huán)攪拌拧揽，溫場(chǎng)均勻剃盾，*泄漏。通過(guò)將傳感器與循環(huán)泵液流的一體化設(shè)計(jì)淤袜，大大提高控溫精度和溫場(chǎng)均勻性痒谴。
◆ 液槽內(nèi)膽、瓶源隔離套、電熱器和蒸發(fā)器等可能與工作介質(zhì)接觸的部件采用不銹鋼材料椰严，其中瓶源隔離套內(nèi)壁經(jīng)鐵氟龍?zhí)幚砩仆酰瑢ｉT解決擴(kuò)散爐應(yīng)用問(wèn)題。 

KSZY-S12擴(kuò)散爐恒溫槽技術(shù)參數(shù)：

溫馨提示：

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