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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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日立高新技術（上海）國際貿(mào)易有限公司北京分公司

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產(chǎn)品簡介

的SEM更為緊湊寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計换怖，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發(fā)的用戶界面和電子光學系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能蟀瞧。

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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

“的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計沉颂，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能悦污。

特點
規(guī)格
觀察示例
視頻
三維測量軟件

特點

FlexSEM 1000 II铸屉，憑借全新設計的電子光學系統(tǒng)和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現(xiàn)4.0 nm的分辨率切端。全新開發(fā)的用戶界面彻坛，具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能，可以在短時間內(nèi)進行各種觀察帆赢。此外小压，還搭載了全新的導航功能“SEM MAP”，這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點椰于，實現(xiàn)最直觀的視野移動怠益。

盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型^*1電子顯微鏡，仍可實現(xiàn)4.0 nm的分辨率
憑借的高靈敏度二次電子姻眼、背散射電子檢測器团春、低真空檢測器（UVD^*2），可在低加速/低真空下觀察時實現(xiàn)的畫質(zhì)
全新的用戶界面娄缴，無論用戶的熟練程度如何兔卤，都可實現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持觀察時的視野搜索和樣品定位
大直徑（30毫米²）無氮EDS檢測器摊梯，可快速進行元素分析^*2

*1: 設置到桌面上時云盲，請將機體與電源盒分離
*2: 選項

小型高性能色譜柱

尺寸雖小，卻具備同類產(chǎn)品中的分辨率杀乃。

金顆粒沉積（SE）
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍
信號：SE
分辨率：4 nm

金顆粒沉積（BSE）
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：50,000倍
信號：BSE
分辨率：5 nm

高畫質(zhì)

配備可優(yōu)化放射電流的功能球逢，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點小且清晰的圖像碳环。

儲氫合金（SE）
儲氫合金
加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍
信號：SE矮蘑、無金屬涂層

Al-Ni復合材料（BSE）
Al-Ni復合材料
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：BSE废奖、無金屬涂層

可用高畫質(zhì)和快速觀察

搭載GUI和自動調(diào)節(jié)功能，讓初學者也能得心應手置塘。只要按一下自動對焦（AFC）内地、自動亮度調(diào)節(jié)（ABCC）按鈕，就可以獲得的圖像赋除。（自動調(diào)節(jié)：與以往相比阱缓，縮短時間約13秒^*3）當然，也可以通過觸屏進行操作贤重。

*3: 對比日立SEM SU1510

全新定位系統(tǒng)“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效實現(xiàn)觀察時的視野搜索和樣品定位茬祷。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品并蝗，一鍵點擊即可移動到觀察部位祭犯。
在SEM MAP上導入的圖像會自動進行粘貼，并以分布圖的形式顯示滚停。

可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡

寬幅僅為45厘米沃粗，緊湊型設計，地減小占用空間键畴。機體僅支持AC100 V 3P電源插座最盅。此外，機體和電源盒可以分離起惕，從而大幅度提升諸如桌面設置等的布局靈活性涡贱。

FlexSEM 1000 II

規(guī)格

項目	內(nèi)容
分辨率^*3	4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV牌骚、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像翎女、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像缘荧、加速電壓：20 kV酸飞、低真空模式）
加速電壓	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）
低真空設置	6～100 Pa
電子槍	集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
樣品臺	3軸馬達驅(qū)動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm蒿榄、Z：5～15 mm T：-15～90°央封、R：360° 可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）^*4
樣品尺寸	直徑80 mm（選配：直徑153mm）
樣品高度	40 mm
尺寸	機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm
選項	高敏感度低真空檢測器（UVD2.0）能量色散型X射線檢測器（EDS）
軟件	Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導入功能）

*: PC、桌子夹昼、監(jiān)控器由客戶準備
*3: 機體和電源盒連接時候
*4: 使用標準支架時

觀察示例

半導體
材料
生物

半導體

焊線

加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE徐渗、無金屬涂層

加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信號：BSE、無金屬涂層

材料

二硫化鎢

FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng)帘达，可在低加速電壓下獲得高放射電流店麻。從而，在低加速電壓下也能實現(xiàn)同類產(chǎn)品中的圖像清晰度（S/N）僧旬。

加速電壓：15 kV
倍率：10,000倍
信號：SE炉奴、無金屬涂層

加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層

水泥

加速電壓：3 kV
倍率：15,000倍
信號：SE蛇更、無金屬涂層

黃銅礦

加速電壓：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE瞻赶、無金屬涂層

生物

蝴蝶翅膀斷面

加速電壓：15 kV
加速電壓：5 kV
倍率：40,000倍
信號：SE、有金屬涂層

花粉

加速電壓：3 kV
加速電壓：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信號：UVD派任、無金屬涂層

視頻

寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡砸逊，仍具備4.0 nm的圖像分辨率！

全新開發(fā)的用戶界面和電子光學系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能

三維測量軟件

Hitachi map 3D（選項）

利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號掌逛，可計算4個方向的表面形狀师逸，從而無需進行樣品傾斜和視野對位，即可構建三維模型豆混。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言篓像，具備用于調(diào)節(jié)樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統(tǒng)皿伺、符合ISO標準的表面粗糙度（面粗糙度员辩、線粗糙度）的測定、此外還包括表面積鸵鸥、體積等其他測量功能以及報告輸出等功能企电。

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