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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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更新時(shí)間：2023-01-24 09:41:13瀏覽次數(shù)：392次
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簡(jiǎn)要描述：PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 160mm190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%）掰派，輸出功率7.2W、10.2W左痢、29.6W三檔可調(diào)靡羡。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物俊性，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）略步，對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體定页，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%）趟薄，輸出功率7.2W、10.2W典徊、29.6W三檔可調(diào)杭煎。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物宫峦，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）回象，對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 主要參數(shù) |
● 輸出功率：7.2W燎隅、10.2W、29.6W ● 總功率：<600W ● 射頻頻率：3.0MHz蝇盖，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) ● 電源：AC220V 50Hz ●
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| 等離子腔體 |
● 高純石英腔體扁奔，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封虎资，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 ● 帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T(mén)暖谚，便于樣品加載和觀察 ●
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| 控制面板 |
● 控制功能：清潔時(shí)間，射頻功率卷雕，真空泵节猿。 ●
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| 真空泵（標(biāo)配） |
● 真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵 ●
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| 等離子清洗機(jī)及刻蝕的方法 |
|
| 惰性氣體 |
● 通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子漫雕，如N2滨嘱、Ar、H2浸间、O2太雨、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） ● 等離子清洗機(jī)不得使用易燃及腐蝕性氣體
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| 可選配件 |
● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案吟榴，PCE-6等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合 ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)盛放清潔的基片 ●
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| 外形尺寸 |
400mm×300mm×300mm
|
| 凈重 |
10.2kg
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持囊扳。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件煤墙，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)宪拥。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)铣减。 |
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