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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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PCE-80 8.5英寸等離子清洗機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:廖勝眉查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-01-12 09:49:01瀏覽次數(shù):294次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:405條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖勝眉

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī)雹税,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體芋妻,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)谎秃。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣鼓募、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)弱瞄。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手买雾。

詳細(xì)介紹

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體杨帽,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)漓穿。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物注盈,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)晃危。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 大射頻功率: 100 W

● 真空泵功率: < 500W

● 總功率: < 600W

● 電源:AC 220V , 50Hz

射頻電源

● 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)

● 頻率: 13.56 MH

● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源老客,來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

● 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封

● 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口

● 此設(shè)備屏蔽射頻輻射僚饭,零射頻泄漏

控制面板

● 通過(guò)6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率沿量、真空泵的開(kāi)啟浪慌、清洗時(shí)間和氣體流量等

● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵(選配)

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

● 極限真空度為80mTorr(參考值朴则,具體請(qǐng)點(diǎn)擊)

通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子权纤,如N2, Ar, Air,H2乌妒、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

● 不能使用及腐蝕性氣體眉挥。

可選

● 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片

● 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持日频。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件深七,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)浮块。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)粉霹。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

相關(guān)應(yīng)用

● 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試等離子功率

● 對(duì)于等離子清洗勉瘩,根據(jù)工藝喉侨,通常保持射頻功率在10 - 30W之間

● 對(duì)于等離子刻蝕品隅,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間

● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源



關(guān)鍵詞:清洗機(jī) 真空泵

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