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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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PDC-36G 等離子清洗機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：廖勝眉查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-01-12 09:47:08瀏覽次數(shù)：329次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：405條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：廖勝眉

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型况颈、低成本的等離子清洗機(jī)堕圾。使用空氣、氧氣勾奇、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染谁昵。在射頻電源的作用下，去除速率大每分鐘10納米摆野。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前進(jìn)行預(yù)處理夭寺，對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用 。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)
  • 結(jié)構(gòu)緊湊赖晶、小型化的桌上型儀器律适；
  • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物；
  • 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具遏插。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好；
  • 鉸鏈?zhǔn)介T纠修，方便裝樣胳嘲；
  • 石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟扣草，大清洗一個(gè)2英寸的基片了牛；
  • 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換辰妙；
  • 使用可調(diào)射頻電源鹰祸，可以設(shè)置功率為低、中密浑、高級(jí)別蛙婴；低成本、操作安全秤暮；
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 低功率設(shè)定：直流680V钢谍，10mA,6.8W

● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W

● 高功率設(shè)定：直流720V歧织，25mA,18W

● 射頻源輸出頻率：13.56MHz

● 等離子直流電源

● 輸入電壓：220V,50Hz

等離子腔室

● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體亏的，前蓋可以開(kāi)啟

● 高純度石英腔體咖杉，使用壽命比玻璃長(zhǎng)

真空計(jì)

● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。

可選配件

● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體胆中，用于備用

● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案句担，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情）

● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片

●

真空泵和閥

● 此設(shè)備不包含真空泵

● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息

●

工作氣體

● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)庀鹗铡鍤馇嗷取⒖諝狻⒒旌蠚怏w目露，主要取決于處理何種材料逗耕。

● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體

● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體

等離子清洗及刻蝕的方法

外形尺寸

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

凈重

8kg（不含泵）

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修，終身技術(shù)支持惯波。

● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件摘肤，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)漏峰。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)糠悼。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

工作原理

等離子清洗機(jī)工作原理



關(guān)鍵詞：清洗機(jī) 真空泵

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