中圖儀器SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀集光、機猖沈、電莱检、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術诲狐，具有測量精度高斗赘、測量范圍大、測量速度快喧畏、高測速下分辨率高等優(yōu)點砍梁。

SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀結合不同的光學鏡組悦浙，可實現(xiàn)線性測長、角度嗤雪、直線度挟七、垂直度、平行度妥析、平面度等幾何參量的高精度測量侮杆。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移漱凝、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測疮蹦，以及進行位移、速度茸炒、加速度愕乎、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析壁公、絲桿導軌的動態(tài)特性分析感论、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件紊册，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件比肄。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組囊陡、角度鏡組芳绩、直線度鏡組、垂直度鏡組撞反、平面度鏡組妥色、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中遏片，線性鏡組為標配锉窑，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成辫慎≡剩可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度叶偶、反向間隙的測量與分析跃渠，以及反向間隙修正和螺距補償。

產品功能

SJ6000激光干涉儀適用于各種復雜的運動系統(tǒng)饱舆，不僅僅局限于運動導軌嘴符，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度稻蒂、重復定位精度等蒿荤，以及導軌的俯仰角、扭擺角秒牙、直線度禾绊、垂直度等。

（1）可實現(xiàn)線性攻臀、角度焕数、直線度、垂直度刨啸、平行度堡赔、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量设联；

（2）可檢測數(shù)控機床善已、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等离例，以及導軌的俯仰角换团、扭擺角、直線度宫蛆、垂直度等艘包；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表耀盗，為設備誤差修正提供依據(jù)想虎；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析猎之、速度分析蝎业、加速度分析、振幅和頻率分析等谓虽，可進行振動分析捣卵、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等笤簸；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償借陕。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊沛愕；

（3）向導式的操作流程册安；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文姑享、英文和俄文界面烫奏；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

部分應用案例

部分技術指標

主機

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃罪褒，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃耙肖，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要仰铃，本產品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知授瘦，不便之處敬請諒解醋界。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢提完。