中圖儀器VT6000共聚焦三維測(cè)量顯微鏡誉煎，它以針孔共聚焦技術(shù)為原理报葬，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像痛贬，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)挺久，對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性驻债。

共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)乳规，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)却汉，能夠有效提高工作效率驯妄，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡合砂，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作源织。

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)：VT6100

測(cè)量原理：共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

光源：白光LED

行程范圍：100*100*100mm

視場(chǎng)范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：12nm

高度測(cè)量分辨率：0.5nm

寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：40nm

寬度測(cè)量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

儀器重量：50kg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能翩伪；

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量谈息；

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件缘屹，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量凛剥，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能轻姿；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置犁珠、糾正、濾波祷骂、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能雇牍；

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析藤习、結(jié)構(gòu)分析乌心、頻率分析、功能分析等五大分析功能第粟；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能匹羹，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

性能特色

1协颅、高精度糕但、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法簇娩，共同組成測(cè)量系統(tǒng)涧谓，保證儀器的高測(cè)量精度；

2）隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲厦浦，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠瑟捺，具有良好的測(cè)量重復(fù)性。

2棺榔、一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作瓶堕，無須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)症歇，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能郎笆；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程忘晤；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能宛蚓，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程；

4）幾何分析设塔、粗糙度分析凄吏、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析闰蛔、功能分析五大功能模塊齊全痕钢；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板任连，批量樣品一鍵分析蚤吹，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D划疟、3D參數(shù)泡募。

3、精密操縱手柄

集成X苦恶、Y票虎、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移涎舔、Z向聚焦等測(cè)量前工作甲盘。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外哮互，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器臣镜，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)题晌，保護(hù)儀器洁馒，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

VT6000共聚焦三維測(cè)量顯微鏡儡皮，能對(duì)各種產(chǎn)品柱锹、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷丰包、磨損情況禁熏、腐蝕情況、平面度邑彪、粗糙度瞧毙、波紋度、孔隙間隙寄症、臺(tái)階高度宙彪、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析有巧。