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長春市海洋光電有限公司


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光譜測試儀器- NanoCalc反射法納米測厚儀

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參   考   價: ￥ 9000

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號F型

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地長春市

聯(lián)系方式：王雪查看聯(lián)系方式

更新時間：2020-05-29 09:44:23瀏覽次數(shù)：327次

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經(jīng)營模式：

商鋪產(chǎn)品：200條

所在地區(qū)：吉林長春市

聯(lián)系人：王雪 （銷售）

產(chǎn)品簡介

NanoCalc反射法納米測厚儀
光學(xué)特性從反射和干涉影像中顯現(xiàn)出來。膜厚測量儀允許用戶從10nm到250μm分析光學(xué)圖層厚度。用戶可以觀察到一副圖層厚度分辨率達到0.1nm的單圖赖歌。根據(jù)用戶選擇的軟件，用戶可以分析單圖層或者小于二分之一的多圖層功茴，并且可以測量圖層厚度和半導(dǎo)體加工影像或者增透涂料庐冯。
特點
·分析單一或者多層
·分辨率到0.1nm
·適用于原地，在線測量厚度

詳細介紹

NanoCalc反射法納米測厚儀

光學(xué)特性從反射和干涉影像中顯現(xiàn)出來坎穿。膜厚測量儀允許用戶從10nm到250μm分析光學(xué)圖層厚度展父。用戶可以觀察到一副圖層厚度分辨率達到0.1nm的單圖。根據(jù)用戶選擇的軟件玲昧，用戶可以分析單圖層或者小于二分之一的多圖層栖茉，并且可以測量圖層厚度和半導(dǎo)體加工影像或者增透涂料。

特點

·分析單一或者多層

·分辨率到0.1nm

·適用于原地孵延，在線測量厚度

工作原理

兩個共同的通道用來測量膜層特征狭缰，光譜反射/傳播和橢圓偏光。膜厚測量儀利用反射原理來測量入射光到達樣品表面后從薄膜反射過來的波段茸例。

通過n和k搜索

很多圖層可以被認定是一個薄膜的堆積罪靠。很多的薄膜和基地原料都能被金屬、電介質(zhì)圈蔬、非結(jié)晶或者水晶半導(dǎo)體默言。膜厚測量儀軟件包含一個巨大的n和k價值庫提供很多的普遍原料。用戶可以編輯和添加數(shù)據(jù)庫杆谓。同樣豺这，用戶可以通過方程式編程或者散射公式自定義材料類型。

用途

膜厚測量儀適用于原地在線厚度檢測和移除速率應(yīng)用程序歼虽，并且可以被用來檢測氧化物的膜厚度景妻，碳化硅，光阻材料和其他半導(dǎo)體薄膜處理而灸。膜厚測量儀可檢測增透膜涂層拐尚、耐摩擦涂層和粗糙涂層。

 

關(guān)鍵詞：測厚儀

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