Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學(xué)為基本原理蔑串，采用的高速轉(zhuǎn)盤掃描技術(shù)為成像方法，將高分辨率與速度結(jié)合在一起演穗，是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓柱涕，并可實(shí)現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測(cè)量的精密分析儀器。

　　Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)*佳的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng)垛墙，的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結(jié)果的時(shí)間籍钱。集成和穩(wěn)固設(shè)計(jì)確保無附加防振設(shè)備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用，的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測(cè)任務(wù)携喳，能夠極大地提高檢測(cè)效率种慕。蔡司以她**端的光學(xué)技術(shù)和基于用戶的設(shè)計(jì)理念，再次向世界證明了光學(xué)的地位巍糯。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　l高分辨

　　由于采用了共聚焦成像原理啸驯，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達(dá)到120 nm祟峦。

　　l高測(cè)量精度

　　同時(shí)罚斗，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上，Smartproof 5配備了精度高搀愧、重復(fù)性好的Z軸自動(dòng)步進(jìn)裝置惰聂，*小步進(jìn)精度達(dá)到1nm，這使得高度上亞微米咱筛，甚至納米尺度的非接觸式精確測(cè)量成為可能搓幌。

　　l高速掃描

　　傳統(tǒng)共聚焦采用點(diǎn)掃描成像，速度較慢;而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描迅箩，成像速度大大提高溉愁，*快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率)，可以說瞬間即可得到測(cè)量結(jié)果饲趋，大大提高工作效率拐揭。

　　l真實(shí)色彩還原

　　還可使用三色LED光源，能夠展現(xiàn)被測(cè)試樣表面的真實(shí)顏色奕塑，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域愧陈。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　1. 波長(zhǎng)：405nm

　　2. 分辨率：120nm

　　3. Z軸*小步進(jìn)精度：1nm

　　4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍

　　5. 物鏡：2.5x-100x

　　6. 高度掃描范圍：高達(dá)5mm

　　7. 載物臺(tái)：150mm×150mm超大行程

　　8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應(yīng)用軟件

　　9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測(cè)量：

　　2D：距離馁祈，高度，角度靴亩，構(gòu)造元素伪睬，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

　　3D：水平距離赌羽，3D距離，高度彻磁，角度衷蜓，構(gòu)造點(diǎn)，面積置吓，體積缔赠，基于ISO 25178的面粗糙度

　　其他：水平調(diào)整衍锚，形狀去除，濾波嗤堰，去噪戴质，報(bào)告