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日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S

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更新時間:2024-11-07 08:34:02瀏覽次數(shù):67

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產(chǎn)品簡介

日本AMAYA株式會社天谷制作所連續(xù)常壓CVD設備辕万,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S連續(xù)常壓CVD設備枢步,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策,以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施特征可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設備運輸156

詳細介紹

日本AMAYA株式會社天谷制作所

連續(xù)常壓CVD設備渐尿,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S


產(chǎn)品信息

連續(xù)常壓CVD設備醉途,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池

AMAX1000S

  • 156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量

  • 采用SiC托盤防止重金屬污染的對策,以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施

圖片關鍵詞

特征

  • 可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板涡戳。

  • 我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭,以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機構(gòu)脯倚。 此外渔彰,還增加了燈管加熱機構(gòu),以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性鸯流。

  • 我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架胯挚,用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。

  • 卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤址靶,并且還具有冷卻功能咨桶。

性能

均勻的薄膜厚度≦±10.0%
支持的晶圓尺寸156毫米方形,125毫米方形
氣體種類SiH4乔盹,O 2椎敞, PH3, B 2 H6叨剧, N 2
薄膜沉積溫度~430°C
生產(chǎn)力1500張/小時

主要規(guī)格

設備尺寸1860毫米(寬) x 5900毫米(深) x 2100毫米(高)
加熱機構(gòu)電阻加熱和燈加熱
裝載卸載裝載:卡盤配籽,卸載:伯努利卡盤
分散頭(氣體噴嘴)A63 長頭(標準 3 頭)


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