詳細介紹
日本AMAYA株式會社天谷制作所
連續(xù)常壓CVD設備渐尿,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S
連續(xù)常壓CVD設備醉途,用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池
AMAX1000S
156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量
采用SiC托盤防止重金屬污染的對策,以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施
特征
可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板涡戳。
我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭,以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機構(gòu)脯倚。 此外渔彰,還增加了燈管加熱機構(gòu),以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性鸯流。
我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架胯挚,用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤址靶,并且還具有冷卻功能咨桶。
性能
均勻的薄膜厚度 | ≦±10.0% |
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支持的晶圓尺寸 | 156毫米方形,125毫米方形 |
氣體種類 | SiH4乔盹,O 2椎敞, PH3, B 2 H6叨剧, N 2 |
薄膜沉積溫度 | ~430°C |
生產(chǎn)力 | 1500張/小時 |
主要規(guī)格
設備尺寸 | 1860毫米(寬) x 5900毫米(深) x 2100毫米(高) |
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加熱機構(gòu) | 電阻加熱和燈加熱 |
裝載卸載 | 裝載:卡盤配籽,卸載:伯努利卡盤 |
分散頭(氣體噴嘴) | A63 長頭(標準 3 頭) |