小型臺式主動減振平臺Micro

常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個彈簧阻尼單元組成尖鲜，它可以減小來自地板的高頻振動拧亡。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動，通常被動減振體系會設計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼宣璧。主動減振體系是用一個調節(jié)器代替了粘滯阻尼器谤碳，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋作用于減振裝置溢豆，這樣大大提高了減振的效果蜒简。
應用領域
• 掃描探針顯微技術（AFM, STM）
• 納米力學探針
• 掃描電子顯微技術（SEM, FE-SEM）
• 共聚焦顯微術
• 超高真空掃描隧道顯微術（UHV-STM）
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產設備
• 半導體檢測儀器
• 膜片鉗 （Patch-Clamp）技術
• 光學輪廓儀
• 生命科學Screening stations
• 顯微硬度檢測儀
• 光學干涉儀
• 超微量天平

性能特點

德國Accurion公司的Micro系列主動減振平臺是利用一個調節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論漩仙，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋作用于減振裝置搓茬，這樣大大提高了減振的效果。
?安裝方便
?操作簡單

性能穩(wěn)定
?低頻振動效果猶佳

技術參數(shù)

小型臺式主動減振平臺Micro