詳細(xì)介紹
PVD/CVD基片加熱載臺(tái)可根據(jù)工藝選配升降出吹、旋轉(zhuǎn)功能遇伞,提高材料的生長(zhǎng)質(zhì)量。外殼配置水冷捶牢,*工作安全可靠鸠珠。
2、技術(shù)參數(shù)
適用基片 | 8"(另可選6"秋麸、12") |
加熱溫度 | 800℃(更高溫度可定制) |
溫度均勻性 | 600℃:±10 |
可耐真空度 | ≤10-6Pa |
升降功能 | 選配 |
旋轉(zhuǎn)功能 | 選配 |
渐排、
PVD/CVD基片加熱載臺(tái)
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)(龍泉驛),是一家以自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)為核心筒臂,致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)烤酌。
公司與國(guó)內(nèi)外多個(gè)研究所、高校和企業(yè)*合作墅糯,始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力慷啊,服務(wù)于客戶。
公司主營(yíng)業(yè)務(wù)覆蓋:Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備况逼、PECVD設(shè)備某扑、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備了槽、核心部件(機(jī)械手筐积、加熱器、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺(tái))蛙疗、定制化真空設(shè)備珊求、機(jī)電一體自動(dòng)化服務(wù)(機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù))等一系列的產(chǎn)品或解決方案。
公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧曾蚊,質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營(yíng)理念赃阀,同時(shí)加強(qiáng)售前售后服務(wù),我們始終以“質(zhì)量良好擎颖、服務(wù)優(yōu)先榛斯、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)。
公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才搂捧,針對(duì)客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案驮俗,更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望懂缕,深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)!
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊(duì)王凑,并另聘請(qǐng)研究員1人搪柑,大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊(duì)6人,高級(jí)工程師2人索烹,涵蓋真空工程工碾、材料科研、等離子物理术荤,器件物理倚喂、化管理等方面的各種人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).