食品機械設(shè)備網(wǎng)
詳細介紹
CSE系列團簇中心轉(zhuǎn)運平臺1、產(chǎn)品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉(zhuǎn)運平臺上岗，用于將產(chǎn)品或襯底在各工藝腔室之間進行轉(zhuǎn)運福荸，以便客戶進行二次開發(fā)。
2翅剔、技術(shù)參數(shù)
| 基片尺寸 | 可選：4”伐页、6”、8"迟凫、12" |
| 工位數(shù) | 可選：4工位养砾、6工位、8工位 |
| 真空機械手 | 選配 |
| 工藝反應(yīng)腔體 | 可選：Sputtering/PECVD/Etch/Evaporation/Plasma Clean/Annealing |
| 腔體材料 | 鋁/不銹鋼 |
| 控制軟件 | 定制選配 |
CSE系列團簇中心轉(zhuǎn)運平臺
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（龍泉驛）夏岩，是一家以自動化設(shè)備技術(shù)為核心质教，致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。
公司與國內(nèi)外多個研究所矩粒、高校和企業(yè)*合作瓦陡，始終以超前的科技和強大的創(chuàng)新能力，服務(wù)于客戶歧蛾。
公司主營業(yè)務(wù)覆蓋：Cluster團簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備厘赤、PECVD設(shè)備辱矮、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備妻铲、核心部件（機械手愿瘫、加熱器、Cluster團簇中心傳送平臺）吞杭、定制化真空設(shè)備盏浇、機電一體自動化服務(wù)（機電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù)）等一系列的產(chǎn)品或解決方案。
公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧芽狗，質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴” 作為公司經(jīng)營理念绢掰，同時加強售前售后服務(wù)，我們始終以“質(zhì)量良好童擎、服務(wù)優(yōu)先滴劲、技術(shù)*”作為追求目標。
公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才柔昼，針對客戶的產(chǎn)品特點提供專業(yè)解決方案哑芹，更能以優(yōu)質(zhì)的標準及非標產(chǎn)品超越客戶的期望，深受廣大客戶的認可和贊譽捕透！
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團隊聪姿，并另聘請研究員1人，大學(xué)材料教授和等離子物理團隊6人乙嘀，高級工程師2人末购，涵蓋真空工程、材料科研美丝、等離子物理壕俱，器件物理、化管理等方面的各種人才替塑。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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