氧化/擴散爐

應用于半導體分立器件眶洗、光電子器件、電力電子器件饵朱、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域?qū)M行擴散堤网、氧化、退火椰完、合金及燒結(jié)等工藝贫肌，可用于2-8英寸工藝尺寸。

產(chǎn)品特點

● 可保存多條工藝曲線辨批，每條曲線可設置多步

● 工藝曲線的自動運行控制功能

● 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能

● 自動運行中可暫停／繼續(xù)運行功能

● 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能

● PID參數(shù)自整定功能

● 工藝氣體的程序控制功能

● 關(guān)鍵部件全部具有高可靠性

● 具有良好的人機界面

● 系統(tǒng)故障自診功能

● 停電后斷點繼續(xù)運行功能等等

● 具有歷史記錄功能怔匣，可打印

● 具有多點溫度補償

● 可根據(jù)用戶的特殊要求增減開發(fā)相應的功能

技術(shù)指標

● 可配置工藝管外徑2～8英寸

● 可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺

● 工作溫度范圍：400～1300℃

 青島微弘設備技術(shù)有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產(chǎn)桦沉、銷售為一體的半導體新能源設備劫狠、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設備的綜合性現(xiàn)代企業(yè)永部，自創(chuàng)立以來，通過產(chǎn)業(yè)經(jīng)營與資本運營并舉發(fā)展呐矾，已形成了光伏太陽能電池苔埋、功率半導體、鋰電池材料蜒犯、磁性材料组橄、粉末冶金、硬質(zhì)合金罚随、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)布局玉工。公司立足山東，*淘菩，業(yè)務覆蓋國內(nèi)大部分省市和地區(qū)遵班。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗，產(chǎn)品服務廣泛應用于行業(yè)內(nèi)的大專院校茧音、科研院所有蒲、半導體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造冈柑、高性能磁性材料制造等衍康。核心產(chǎn)品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴散爐等已達到國內(nèi)*水平衔密，可以替代進口設備鞍票。在功率半導體行業(yè)，成功研制生產(chǎn)真空擴散氧化爐找蝗、真空合金爐岖佛、LPCVD等產(chǎn)品，另外真空熱處理爐嫉鸳、氫氣爐等產(chǎn)品也已得到廣泛的應用患达。       

青島微弘擁有精良的科研、設計喷聪、制造习劫、服務團隊，為中國半導體設備行業(yè)協(xié)會會員單位嚼隘、國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會員單位诽里、中國磁性材料與器件協(xié)會會員單位，承接并出色完成了一系列國家重點項目的設備的設計制造飞蛹，為國家863計劃等重大科技攻關(guān)項目做出了突出貢獻谤狡。       

 公司堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本卧檐，服務是發(fā)展的保障墓懂，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經(jīng)營理念，加快推進“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略霉囚，致力于實現(xiàn)員工成長捕仔、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展盈罐、社會進步的多贏榜跌。

● 恒溫區(qū)長度：300～1250mm

● 恒溫區(qū)精度：±0.5℃（800～1300℃）

● 單點溫度穩(wěn)定性：±0.5℃/24h（800～1300℃）

● 大可控升溫速率：15℃/min

● 大降溫速率：5℃/min

氧化/擴散爐