注塑車(chē)凈化工程

亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室盹火。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子狠压、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除哗衫，并將室內(nèi)之溫度相品、潔凈度、室內(nèi)壓力示婉、氣流速度與氣流分布品山、噪 音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)烤低，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間肘交。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度扑馁、溫濕 度及壓力等性能之特性涯呻。潔凈室*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)腻要、制造复罐，此空間 我們稱(chēng)之為潔凈室。

注塑車(chē)間凈化工程中的氣壓規(guī)定
對(duì)于大部分潔凈空間闯第，為了防止外界污染侵入市栗，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力咳短。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力填帽。
3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量咙好，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量蔗须。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度命丑，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明玛耿。
對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念君订，而不直接用速度的概念漱蔬，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求御颇；
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比语诈，要求速度衰減更快材框，擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大察颅，以免吹起表面微粒重返氣流缰俭，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s叫质。
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室）京挖，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)物喷。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)卤材，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是*的，為了節(jié)能脯丝，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性商膊。
在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范））都是這樣規(guī)定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求宠进，但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別，更能體現(xiàn)節(jié)能的目的藐翎。
注塑車(chē)間凈化工程的噪聲控制
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)材蹬，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話及安全舒適的工作環(huán)境吝镣。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：
1．煩惱的效應(yīng)
由于噪聲堤器，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜末贾、很安靜闸溃、較安靜、稍嫌吵鬧拱撵，比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)啥诈。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱卑绢，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率专稼。
2．對(duì)工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神蛮嘹，動(dòng)作準(zhǔn)確性缰嘴，工作速度；
3．對(duì)綜合通訊的干擾
這主要分為：清楚或滿意诲要，稍困難行兼，困難，不可能
對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線楣善。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適存睬，可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。
根據(jù)中國(guó)建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》而進(jìn)行的測(cè)定資料茧伍，在65dB(A)以下時(shí)栽逸，只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí)咽安，其影響對(duì)工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平伴网；在60dB(A)以下說(shuō)話清楚滿意．60～75dB(A)時(shí)有一定困難，犬于75dB很困難妆棒。因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜澡腾，此時(shí)可使高煩惱率小于30%；保證一般通話糕珊；對(duì)工作效率影響很小
注塑車(chē)間凈化工程的照度控制
由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細(xì)的要求动分，而且又都是密閉性房屋，所以對(duì)照明一向有很高的要求红选。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式：
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要澜公，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明喇肋。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明坟乾。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%蝶防，但不低干150LX甚侣。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求*叨斜，例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是．
100級(jí): 1080-16001x
10000級(jí): >lOOOlx
100000級(jí): >1000LX
人工光300lx有較好的效果妇保，當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí)，500x也是允許的转隘。對(duì)于要紅燈照明的地方雨担，如電子行業(yè)的光刻車(chē)間，其照度一般為25—501x)碟舱，
用天然光時(shí)可允許更高的照度洁操，因而對(duì)工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的俗循，這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向蛋揖。
潔凈室中的防靜電
注塑車(chē)間凈化工程中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面诀汁。
所謂靜電溶孽，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一）電荷等量的均勻的電中性狀態(tài)趴贝，而使電荷過(guò)剩，物體呈帶電狀態(tài)沽怪，由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的看锉，故稱(chēng)靜電。
在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面塔鳍；無(wú)塵車(chē)間工程
1．靜電電引起的靜電電擊伯铣，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒轮纫，由摔倒又致傷)腔寡；
2．靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作掌唾，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)放前，搖晃數(shù)次后，與非門(mén)柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊糯彬，失效率競(jìng)達(dá)78%凭语，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作撩扒；
4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞似扔；
5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂却舀，印刷品深淺不均和制品污染盼饼；
6．靜電放電引起的*危險(xiǎn)的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國(guó)外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì)了灾，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次冒衍，其中由靜電引起的達(dá)21次胖直；
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)搭屿，氣流和管道腋民、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦探龟，人體和衣服的摩擦项起，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨否癣，噴涂廊珊、射流、洗滌栏荷、攪拌答倡、粘合和剝離等操作轰传，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下瘪撇，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體）获茬，由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現(xiàn)為越容易帶電倔既。
靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重恕曲，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面渤涌、墻面佩谣，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率歼捏，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電稿存，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的
作用控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度瞳秽，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)瓣履、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程练俐。
分類(lèi)亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室靡玲，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)锡锐。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)铆羡。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低操椰，潔凈室的擴(kuò)充比較容易能狼，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)跌仗，提高潔凈室等級(jí)顺雪。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品掩若。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活嘁凤，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間快鬓。

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型租躁，空氣由覆蓋率*之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)向楼。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用查吊，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出蜜自，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)菩貌，塵埃隨風(fēng)向排出室外卢佣，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單箭阶，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定虚茶。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充仇参。凈化車(chē)間裝修
(2)垂直層流式：房間天花板*以ULPA過(guò)濾器覆蓋嘹叫，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度诈乒，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵罢稚龋可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易怕磨，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)喂饥，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高醇颗，彈性運(yùn)用空間困難陨楼，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩搭诬。
復(fù)合式(Mixed Type)：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用蘸橡，可提供局部超潔凈之空氣。凈化車(chē)間裝修
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域*覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上转傍，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用层褥。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)糜实。ULSI制程大都采用此種型式彼兆。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行错这。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理俺膊，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離川愤，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源碍讯，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為*適宜使用悬蔽。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用捉兴。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上蝎困，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)倍啥、潔凈工作棚禾乘、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)澎埠。
凈化車(chē)間局部潔凈工程
潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間始藕，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間蒲稳，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右伍派，覆蓋面積約10m2以下江耀，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用诉植。
凈化車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范
經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)祥国，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí)，例如美國(guó)蘑砖、日本初瓜、西歐、北歐永僚、俄羅斯等否北。我國(guó)于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ73-84），1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改菲缕，1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件趁室。

注塑車(chē)凈化工程