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真空壓力傳感器【真空度,負(fù)壓測(cè)量】

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佛山市昊明電子儀器有限公司

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PTC501Z真空壓力傳感器芯片采用特殊進(jìn)口材質(zhì),高穩(wěn)定性壓力傳感器組件,經(jīng)過(guò)高可靠的放大電路及溫度補(bǔ)償,性能更好。一般正常使用可達(dá)到10年,耐用性特別強(qiáng),分辯率高,響應(yīng)時(shí)間快尊陪，電路以ASIS高性能放大電路连定，經(jīng)過(guò)數(shù)千次疲勞沖擊，高救辖，低溫循環(huán)老化及精密的數(shù)字溫度補(bǔ)償工藝簿煌，再經(jīng)過(guò)不銹鋼全封焊（激光焊接）。外殼挑選上乘304,316鋼材材質(zhì),經(jīng)久耐用.兼容性廣鉴吹，機(jī)械連接口和電氣連接口全部可按客戶(hù)要求定制.在封裝方面全是采用激光焊接,密封性好,防潮防水能力強(qiáng),達(dá)到IP68標(biāo)準(zhǔn)姨伟，該產(chǎn)品有多種接口形式和多種引線(xiàn)方式,能夠限度滿(mǎn)足客戶(hù)的需要,適用于測(cè)量與控制真空壓力。

詳細(xì)介紹

PTC501Z真空壓力傳感器
芯片采用特殊進(jìn)口材質(zhì),高穩(wěn)定性壓力傳感器組件,經(jīng)過(guò)高可靠的放大電路及溫度補(bǔ)償,性能更好豆励。一般正常使用可達(dá)到10年,耐用性特別強(qiáng),分辯率高,響應(yīng)時(shí)間快夺荒，電路以ASIS高性能放大電路，經(jīng)過(guò)數(shù)千次疲勞沖擊良蒸，高技扼，低溫循環(huán)老化及精密的數(shù)字溫度補(bǔ)償工藝，再經(jīng)過(guò)不銹鋼全封焊（激光焊接）嫩痰。外殼挑選上乘304,316鋼材材質(zhì),經(jīng)久耐用.兼容性廣剿吻，機(jī)械連接口和電氣連接口全部可按客戶(hù)要求定制.在封裝方面全是采用激光焊接,密封性好,防潮防水能力強(qiáng),達(dá)到IP68標(biāo)準(zhǔn)，該產(chǎn)品有多種接口形式和多種引線(xiàn)方式,能夠限度滿(mǎn)足客戶(hù)的需要,適用于測(cè)量與控制真空壓力串纺。

PTC501Z真空壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種壓力傳感器丽旅，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及真空負(fù)壓系統(tǒng)纺棺、抽真空泵設(shè)備榄笙、石油管道、水利水電杰泡、鐵路交通蓄稠、智能建筑、生產(chǎn)自控朋丢、航空航天译拿、、石化请癣、油井薛对、電力、船舶砍倾、機(jī)床深冶、通風(fēng)管道等眾多行業(yè)。

PTC501Z真空壓力傳感器特點(diǎn)：
1乎叫、無(wú)灌充液體欧陋，溫補(bǔ)范圍廣,受溫度影響極小真空傳感器，真空發(fā)生裝置檢測(cè)傳感器，真空負(fù)壓納米壓印方法傳感器
2邪蛔、供電電源范圍寬（10~40V）,并且不需穩(wěn)壓

3急黎、不銹鋼隔離膜片一體化結(jié)構(gòu)，可適應(yīng)惡劣環(huán)境

4侧到、防雷擊勃教，抗電磁/射頻干擾,傳輸距離長(zhǎng)

5、小體積匠抗，高精度故源，高性?xún)r(jià)比，高穩(wěn)定性,產(chǎn)品壽命長(zhǎng),經(jīng)久耐用

PTC501Z真空壓力傳感器技術(shù)參數(shù)：
量　程：-100KPA～-5KPA～100KPA～1000KPA～5000KPA
綜合精度：0.1%FS 0.2%FS 0.25%FS 0.5％FS汞贸、1.0％FS　
輸出信號(hào)：4～20mA（二線(xiàn)制）绳军、0～5V、1～5V著蛙、0～10V（三線(xiàn)制）　
供電電壓：24DCV（9～36DCV）　
介質(zhì)溫度：-20～85　
環(huán)境溫度：常溫（-20～85℃）　
負(fù)載電阻：電流輸出型：800Ω删铃；電壓輸出型：大于50KΩ　
絕緣電阻：大于2000MΩ　（100VDC　
密封等級(jí)：IP65　
長(zhǎng)期穩(wěn)定性能：0.1％FS／年　
振動(dòng)影響：在機(jī)械振動(dòng)頻率20Hz～1000Hz內(nèi)踏堡，輸出變化小于0.1％FS　
電氣接口（信號(hào)接口）：四芯屏蔽線(xiàn)猎唁、四芯航空接插件、緊線(xiàn)螺母　
機(jī)械連接（螺紋接口）：M20*1.5 M22*1.5 G1/2 NTP1/4 M16*1.5〗穹Ｍ11*1 ZG3/8 NPT1/4 G1/8　M12*1.5 NTP3/8,等拄渣，其它螺紋可依據(jù)客戶(hù)要求設(shè)計(jì)。

PTC501Z真空壓力傳感器

PTC501Z真空壓力傳感器尺寸圖

真空壓力傳感器類(lèi)型和原理：

一：壓阻式真空壓力傳感器：

1：壓阻式真空壓力傳感器是壓力變送器的一種癌越，是將需要測(cè)量的真空變量轉(zhuǎn)換為可輸出的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)浦砚，輸出信號(hào)與真空變量之間有一定的函數(shù)關(guān)系，主要用于測(cè)量過(guò)程中真空參數(shù)的測(cè)量與控制洲芥。典型的二線(xiàn)制壓阻式真空壓力傳感器的測(cè)量范圍0 ～ 100 kPa亚滑、工作電壓為12 ～ 36 V，工作電流為4 ～ 20 mA 的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出昌嘶，采用V /I 轉(zhuǎn)換電路且零位可自由遷移还做。壓阻式真空壓力傳感器輸出信號(hào)和真空度的函數(shù)關(guān)系式如公式：I = 4 + ( 20 - 4) P' 式中： P'為某一真空狀態(tài)下的示值，kPa诱榴； P 為傳感器的滿(mǎn)量程值裕甸，kPa； I 為P'真空狀態(tài)下對(duì)應(yīng)的輸出電流值备则，mA碳扯。通過(guò)公式可以得出某一真空傳感器在測(cè)量范圍內(nèi)任意真空度對(duì)應(yīng)的理論電流輸出值，為其準(zhǔn)確信號(hào)輸出提供參考隐锭。

在對(duì)真空壓力傳感器校準(zhǔn)時(shí)衩羹，由于測(cè)量誤差是按照測(cè)量準(zhǔn)確度等級(jí)劃分的，典型的壓阻式真空傳感器測(cè)量誤差和準(zhǔn)確度間的函數(shù)關(guān)系如公式：△A = ( 20 － 4) δP式中： △A 為測(cè)量誤差的上下限值聂抢； P 為此傳感器的滿(mǎn)量程值，kPa蹦玫； δ 為某一真空傳感器標(biāo)注的準(zhǔn)確度等級(jí)。準(zhǔn)確度等級(jí)是傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)刘绣，是一個(gè)定性的概念，通過(guò)公式可以換算出真空傳感器在某一準(zhǔn)確度等級(jí)下的測(cè)量允許誤差限挣输，可以判斷真空壓力傳感器標(biāo)注的準(zhǔn)確度等級(jí)是否正確纬凤，。

壓阻式真空壓力傳感器

2：測(cè)量部件是一個(gè)裝有固態(tài)壓力芯片撩嚼，該芯片利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)停士，在特定晶面上，采用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散成四個(gè)等值電阻完丽，組成一個(gè)惠斯登電橋恋技，使得形變與橋阻變化形成一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，當(dāng)壓力變化時(shí)漱屁，電橋失去平衡狈报，輸出一個(gè)與壓力成正比的電信號(hào)，再由感應(yīng)智能芯片進(jìn)行非線(xiàn)性修正和溫度補(bǔ)償茧津，最終輸出與壓力成線(xiàn)性對(duì)應(yīng)關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)溺剖。

二：場(chǎng)發(fā)射真空壓力傳感器：原理是采用MEMS加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射原理的微型真空壓力傳感器。通過(guò)場(chǎng)發(fā)射真空壓力傳感器理論分析营鸽，確立了該種傳感器中硅尖場(chǎng)發(fā)射電流與真空度的關(guān)系鳖进。并利用干法刻蝕工藝，在硅片上制作了高3.2μm奴万，曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列葵斗。保持陽(yáng)極與硅尖距離為1μm的情況下，可以觀察到陽(yáng)極電壓為10V左右時(shí)開(kāi)始有明顯的場(chǎng)發(fā)射電流个荔。利用硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象杂虐，研制了一種基于硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射原理的場(chǎng)發(fā)射真空壓力傳感器。利用MEMS加工工藝制作出傳感器樣機(jī)擦钾，并搭建測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試其特性料潘。通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，隨著真空度的提高悍赢，傳感器輸出電流也會(huì)隨之增大决瞳，而且真空度越高輸出電流越大，分辨率左权、靈敏度越高皮胡。

場(chǎng)發(fā)射真空壓力傳感器

真空壓力傳感器使用時(shí)注意事項(xiàng)：

真空壓力傳感器是一種常用的測(cè)量壓力傳感器痴颊，在很多的領(lǐng)域當(dāng)中都有一定的應(yīng)用。真空壓力傳感器使用注意事項(xiàng)例如真空壓力表測(cè)量的范圍屡贺、真空壓力表使用溫度等多種的問(wèn)題蠢棱。

1．真空壓力傳感器使用時(shí)環(huán)境溫度為-40~70℃，相對(duì)濕度不大于80%甩栈，如偏離正常使用溫度20℃時(shí)泻仙，須計(jì)入溫度附加誤差×棵唬　　

2．真空壓力傳感器使用時(shí)必須垂直安裝玉转，力求與測(cè)定點(diǎn)保持同一水平，如相差過(guò)高計(jì)入液柱所引起的附加誤差殴蹄，測(cè)量氣體時(shí)可不必考慮究抓。安裝時(shí)將傳感器殼后部防爆口阻塞，以免影響防爆性能兄哮《俏ⅲ　　

3．真空壓力傳感器使用時(shí)正常使用的測(cè)量范圍：在靜壓下不超過(guò)測(cè)量上限的3/4，在波動(dòng)下不應(yīng)超過(guò)測(cè)量上限的2/3参匀。在上述兩種壓力情況下真空壓力傳感器測(cè)量都不應(yīng)低于下限的1/3旭眼，測(cè)量真空時(shí)真空部分全部使用《窦冢　　

4．使用時(shí)如遇到真空壓力傳感器失靈或內(nèi)部機(jī)件松動(dòng)教够、不能正常工作等故障時(shí)應(yīng)進(jìn)行檢修，或聯(lián)系生產(chǎn)廠家維修沪蜕「芪妫　　

5．真空壓力傳感器使用時(shí)應(yīng)避免震動(dòng)和碰撞，以免損壞泞首。真空壓力傳感器廣泛應(yīng)用與輸送氣體赋芥，液體的管道及容器中測(cè)量無(wú)危險(xiǎn)，無(wú)結(jié)晶體掖饲，不凝固體及對(duì)合金不起腐蝕作用的液體一膨，氣體，蒸汽等介質(zhì)的壓力大小洒沦。真空壓力表具有體積小豹绪，性能安全可靠，顯示清晰等優(yōu)點(diǎn)申眼。

　　壓力有兩種表示方法：一種是以真空作為基準(zhǔn)所表示的壓力瞒津，稱(chēng)為壓力；另一種是以大氣壓力作為基準(zhǔn)所表示的壓力括尸，稱(chēng)為相對(duì)壓力巷蚪。由于大多數(shù)測(cè)壓儀表所測(cè)得的壓力都是相對(duì)壓力病毡，故相對(duì)壓力也稱(chēng)表壓力。當(dāng)壓力小于大氣壓力時(shí)屁柏，可用容器內(nèi)的壓力不足一個(gè)大氣壓的數(shù)值來(lái)表示啦膜。稱(chēng)為"真空度"。它們的關(guān)系如下：壓力=大氣壓力+相對(duì)壓力淌喻；真空度=大氣壓力—壓力僧家；我國(guó)法定的壓力單位為Pa（N/㎡），稱(chēng)為帕斯卡宜柱，簡(jiǎn)稱(chēng)帕拥臼。由于此單位太小，因此常采用它的10^6倍單位MPa（兆帕）愁豆。壓力真空表和真空壓力傳感器用于測(cè)量對(duì)鋼，銅及銅合金無(wú)腐蝕作用呀胁，無(wú)爆炸危險(xiǎn)的不結(jié)晶招狈，不凝固的液體，氣體或蒸汽介質(zhì)的壓力或負(fù)壓殖吧。

關(guān)鍵詞：傳感器真空泵壓力變送器

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