干式真空泵目前應用越來越廣泛驳庭，尤其是在半導體鹏闭、化工等一些工況可能比較惡劣的應用行業(yè)里送县。今天就來講一講，在干式真空泵應用中防止泵內(nèi)出現(xiàn)顆粒物的解決方法：

清潔蚪应、耐用话弹、低噪等等都是干式真空泵的實用標簽。但在實際的干式真空泵應用中伍戚，干式真空泵也分接觸型與非接觸型味专。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵透汞、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性数荤，而是需要通過過濾設備來予以解決。此外即使是對顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵薄肉，我們?yōu)榉乐挂馔庖跗荩残枰M量避免介質(zhì)在真空泵泵內(nèi)由于化反或氣固變相形成顆粒物。顆粒物某亩、可凝性氣體在真空泵內(nèi)凝結(jié)后會對泵造成的各種損傷笋熬。對此，除常規(guī)的過濾裝置外腻菇，普諾克真空科技總結(jié)的做法包括：

1胳螟、適當提高泵溫。 物質(zhì)的升華筹吐、凝固是壓力與溫度的函數(shù)糖耸，隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物丘薛。如Al在刻蝕過程中生產(chǎn)的氯化鋁嘉竟，在對應壓力下，其在80℃就會開始氣化洋侨，因此在將泵內(nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積舍扰。

2、降低會反應氣體的濃度希坚。單位時間內(nèi)氣體反應生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關妥粟，所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應氣體濃度來降低顆粒物的形成吏够。這個方法也會用于泵內(nèi)溫度冷卻，防止介質(zhì)降解嵌鳖、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等织扰，也可以防止介質(zhì)達到著火極限等可能，如CVD工藝中可能的爆炸。

3率肉、增加抽氣通道中的氣流速度原拉。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積，使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度剑三，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出堵套，防止沉積。具體的方法與第2點一樣矩汪，在不影響真空泵的極限壓力的前提下端皮，就是充入適量氣體。

總結(jié)：干式螺桿真空泵拒凝，極限壓力（1*10-2Torr(托) ）*無油無水腰凫，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差牢裳、高濕度逢防、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應國內(nèi)的各類工況環(huán)境蒲讯，實際應用實現(xiàn)更低故障率忘朝，更低能耗，更高能效判帮。廣泛應用于制藥局嘁、精細化工、電子光伏脊另、包裝行業(yè)和造紙等二十多種生產(chǎn)行業(yè)导狡。