MF5700系列氣體質量流量計是基于MEMS流量傳感芯片治部，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系剧么，在其上沧蛉、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量苫治。該流量計同時實現(xiàn)熱源的產生與溫度的測量蟀思。當芯片處于工作狀態(tài)時零院，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布汰聋。一旦一定質量的氣體流過傳感器時门粪，氣體的流動將破壞該溫度場的分布烹困，形成特定的玄妈、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號拟蜻，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理酝锅。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量搔扁。

MF5712-G-250-B-A氣體質量流量計MODBUS通訊協(xié)議中文版