上海兆茗電子科技有限公司
主營產(chǎn)品: 儀器儀表,電子產(chǎn)品,機(jī)械設(shè)備,機(jī)電設(shè)備,五金工具,電工電氣等 |
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更新時間:2016-06-07 15:25:12瀏覽次數(shù):372
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INFICON監(jiān)控器 薄膜沉積監(jiān)控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度俩莽。兩個傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入旺坠,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個記錄器輸出提供模擬速度和厚度信號扮超。
傳感器輸入可分配給不同的材料价淌,在大型系統(tǒng)中平均分配以實現(xiàn)精確的沉積控制,或者配置為雙傳感器瞒津。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器蝉衣,從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1Å/s 或 0.01Å/s巷蚪,用戶可自行選擇病毡。此外,還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示屁柏。憑借四個繼電器輸入啦膜,SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設(shè)定點以及信號晶體失效淌喻。數(shù)字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數(shù)僧家。
產(chǎn)品功能:
兩個標(biāo)準(zhǔn)測量通道,另外四個可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選項: 每秒 10 個讀數(shù)時 0.03 赫茲
RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口宜柱,可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)侦演。
INFICON監(jiān)控器 薄膜沉積監(jiān)控器
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