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福建順昌虹潤(rùn)精密儀器有限公司
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虹潤(rùn)溫度控制器在單晶爐設(shè)備改造中的應(yīng)用

時(shí)間:2024/4/28閱讀:960
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一、摘要

       虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進(jìn)行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng)现粗,它可根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的要求涮较,按照一定的曲線進(jìn)行控制,最多可分59段曲線對(duì)象進(jìn)行編程控制啤誊,每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制椿息,使控制更為精確可靠,方便靈活的曲線控制功能坷衍,可實(shí)時(shí)監(jiān)控曲線程序段的運(yùn)行時(shí)間和狀態(tài)寝优,多種事件輸入功能条舔。通過(guò)多種曲線控制輸出功能,可實(shí)現(xiàn)曲線控制暫停乏矾、曲線控制清零孟抗、曲線控制步進(jìn)等功能,并可實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)無(wú)擾動(dòng)切換钻心。

二凄硼、產(chǎn)品的市場(chǎng)背景

       單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備捷沸。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑摊沉、溫度(功率)、原料(硅料)痒给、泄漏率和氬氣質(zhì)量等用六,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤(rùn)自主開(kāi)發(fā)的虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用红狗。

三烂锤、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理

       1、軟件采用人工智能控制算法暂呈,通過(guò)上電自動(dòng)跟蹤測(cè)量值變化架暗,根據(jù)時(shí)間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實(shí)現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)

       2辜辰、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線约粒,可實(shí)現(xiàn)曲線的步進(jìn)、跳轉(zhuǎn)束敦、停止奈兢、清零等功能

       3、產(chǎn)品在整個(gè)單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負(fù)責(zé)溫度的精準(zhǔn)控制碴验。

四啼插、產(chǎn)品的應(yīng)用

       虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見(jiàn)下圖:

1565251270128127.gif

       電路說(shuō)明:交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用,輸出電壓25V缕陕,輸出電流28A粱锐、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊,內(nèi)含晶閘管和移相控制電路扛邑,輸出最大電壓450V怜浅,最大電流75A,L1為過(guò)流保護(hù)熔斷器蔬崩,RSV為過(guò)壓保護(hù)阻容元件恶座。RW為電爐絲。

       NHR-5400輸出為0-10MA電流沥阳,經(jīng)過(guò)1K電阻后跨琳,輸出變?yōu)?-10V直流電壓自点,滿(mǎn)足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

       主要控制設(shè)備:虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器

2.gif

       輔助設(shè)備:熱電偶脉让、可控硅桂敛、固態(tài)繼電器、過(guò)壓保護(hù)阻容器件等

       根據(jù)單晶爐溫度控制的特點(diǎn)溅潜,虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下:

攝氏度   分鐘  

SV01=25.0

SV02=255.0

SV03=255.0

SV04=455.0

SV05=455.0

SV06=825.0

SV07=825.0

SV08=825.0

SV09=825.0

SV10=825.0

SV11=825.0

SV12=355.0

SV13=25.0

從室溫25.0℃開(kāi)始升溫

升到255.0℃

保溫在255℃

升到455.0℃

保溫在455.0℃

上升到825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

下降到355.0℃

下降到25.0℃

TI01=60

TI01=120

TI03=120

TI04=90

TI05=300

TI06=8640

TI07=8640

TI08=8640

TI09=8640

TI10=4320

TI01=360

TI12=600

TI13=-121

經(jīng)過(guò)60分鐘

經(jīng)過(guò)120分鐘

經(jīng)過(guò)120分鐘

經(jīng)過(guò)90分鐘

經(jīng)過(guò)300分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)4320分鐘

經(jīng)過(guò)360分鐘

經(jīng)過(guò)600分鐘

停止

按照上述的設(shè)定參數(shù)試驗(yàn)控制效果术唬,控制精度可達(dá)±0.5°C

產(chǎn)品圖片:

3.gif

五、結(jié)束語(yǔ)

       采用虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來(lái)墅瑟,碲鎘汞單晶爐的控制運(yùn)行狀況良好避扎,至今仍出現(xiàn),可以替代進(jìn)口的控制儀表枪素。無(wú)論從運(yùn)行實(shí)際狀況來(lái)看咬跷,還是從性?xún)r(jià)比來(lái)看,選擇NHR-5400確實(shí)能夠要求段扛。

 

 

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