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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間:2024-11-28 11:49:56瀏覽次數(shù):50次
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概述EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)仍桌,仍是歡迎的泵为猩,可用于壓力范圍為0.01至10mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合
概述
EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)忱叭,仍是歡迎的泵隔崎,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合韵丑。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)爵卒。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下撵彻,因此高度可靠钓株。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾陌僵、真空包裝轴合、鋼脫氣、薄膜覆層碗短、真空冶金受葛、低密度風(fēng)洞、空間模擬偎谁、真空浸漬总滩、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥祸弥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下偎旱、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合船庐。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置地捂。這可提供:
安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行羽捻。
牢靠且防腐蝕。
的軸封技術(shù)滤重,處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造酣疏。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門鲫庆,因此可將維護(hù)要求降到诬曙。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中掏榜。這可在需要標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能霹孙。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒络兜。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)辐赞、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的硝训。
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