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上海和呈儀器制造有限公司
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更新時(shí)間:2022-09-02 14:33:15瀏覽次數(shù):267次
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一.概述:無(wú)氧烤箱晶圓封裝無(wú)氧箱,無(wú)氧化烘箱胖直,在工作時(shí)肛劈,工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化
一.概述:
無(wú)氧烤箱晶圓封裝無(wú)氧箱,無(wú)氧化烘箱腋民,在工作時(shí)遗时,工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝项起,LCD,晶體管皆墅,傳感器,二極管廊珊,石英晶體振蕩器灵您,混合集成電路板……
二.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào):雙工作腔無(wú)氧烤箱 AO-2DSL FCNET(支持 ONET-240 網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)功能)
2、主要技術(shù)指標(biāo):
2.1工作尺寸:W1000*D500*H610*2 mm
2.2電源:380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM答倡。
2.4溫度范圍: RT(室溫)+60~ +300℃轰传;
2.5溫度均勻度:±1.5%;
2.6升溫速率:室溫~250℃驴党,45分鐘(空箱測(cè)試)。(客戶工藝高溫度300℃)
2.7風(fēng)冷降溫:100 分鐘內(nèi)降溫可從250℃達(dá)到 70℃
3获茬、箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分港庄、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成恕曲,結(jié)構(gòu)合理鹏氧,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊佩谣,耐高溫硅膠迫緊度帮,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵稿存;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵瞳秽;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板瓣履,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘 烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE练俐;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板靡玲,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊 密封加工(防污染)锡锐。
3.6保溫材料:硅酸鋁棉铆羡;
3.7夾層降溫:夾層風(fēng)冷降溫
4、溫控系統(tǒng)
4.1控制器采用二合一PLC觸摸屏控制兩個(gè)腔體獨(dú)立運(yùn)行操椰,隨時(shí)切換能狼。
4.2溫度測(cè)量:采用特制鍇裝鉑電阻;
4.3氮?dú)饪刂葡到y(tǒng):有雙流量計(jì)的智能控制氮?dú)庀到y(tǒng)跌仗。
5顺雪、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器//超溫保護(hù)//欠相保護(hù)//馬達(dá)過(guò)載電流保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示
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